國內光伏行業(yè)普遍使用的PECVD設備是由德國Ruth&Rau公司提供的,。如常州天合,， Ruth&Rau公司國內目前重要的zui終用戶。      

    Ruth&Rau的PECVD設備上裝配的壓力計多為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,，流量計多為1179B （SiH4,，NH3），這些產品均為MKS德國工廠所生產,，所以在價格上面會比較高,。而國內本土的PECVD設備商，如七星華創(chuàng),、中電48所,，選配的壓力 計除MKS的626B和627D外，也有INFICON電容薄膜規(guī)：CDG025D,，相對MKS產品價格要便宜一些,。兩者的區(qū)別（以CDG025D和 626B為例）主要體現(xiàn)在量程跨度和精度上面；626B的量程可以跨越10⁵量級,，如一般用的滿量程為10Torr的,，zui小可以測到10^-4Torr，對應INFICON滿量程10Torr的CDG025D,，其zui小可以測到10^-3Torr,。不過，光伏行業(yè)的PECVD工藝通常真空度不會低于1Pa,，常用在50-300Pa,，所以，兩者都可以滿足,。

    在精度方面626B的精度為0.25%,，CDG025D的精度為0.2%，CDG025D略高一些,，不過相差不大,，可相互替代。MKS的627D是加熱型電容薄膜規(guī),，精度為0.12%,，與INFICON的CDG045D類似,，不過這2款的價格要高很多。

    流量計方面,，除了MKS的1179B系列以外,，為節(jié)約成本，國內的設備商業(yè)找到想要的替代產品,，如BROOKS,，Horiba，日本山武,，Alicat等 其他品牌可根據(jù)zui終用戶的要求來選擇,，不過總體來說在PECVD的應用上，MKS的流量計用得zui多,，性能zui穩(wěn)定,，。