真空泵選擇的注意事項

1.真空泵選擇的原則

在設(shè)計真空系統(tǒng)時,，首先要正確選擇真空泵的類型,，確定真空泵的大小,。

2.真空泵類型的選擇

在選擇真空泵的類型時,，需要考慮的包括被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng),，被抽氣體的種類,，和真空泵采購的初始投資與運(yùn)行中的日常維護(hù)費(fèi)用。

3.真空泵工作壓強(qiáng)范圍的選擇

首先要根據(jù)被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng),，正確選擇真空泵的工作壓強(qiáng)范圍,。

從設(shè)計與制造者的角度，每種真空泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如：無油渦旋真空泵的工作壓強(qiáng)范圍為大氣～1Pa,。在這樣寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而 變化,，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為10E4～10Pa。因而,，無油渦旋真空泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),，而不能讓它在大氣下或者1Pa下長期工作。

從用戶的角度看,，真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,，通常選擇真空泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。例如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。

4.真空泵大小的選擇

選擇真空泵的大小,，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點：

首先根據(jù)被抽真空室工作時所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的zui大排氣流量來決定,。每種泵都有其極限壓強(qiáng)和*抽速壓強(qiáng)范圍,，真空室內(nèi)壓強(qiáng)要在泵的*抽速壓強(qiáng)范圍內(nèi)。

其次還要根據(jù)真空室的大小和抽氣時間要求來選擇,。

另外真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。但大部分工作壓強(qiáng)是單*種真空泵所不能達(dá)到的,。有的真空泵不能在大氣壓下工 作,，需要預(yù)抽真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級泵,。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機(jī)組，以滿足工作要求,。

例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大,，要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無油，抽氣時間盡量短,、以提高工作效率,。這時抽速為15～60立方米/小時（4～16升/秒） 的無油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無油真空機(jī)組,，達(dá)到接近600立方米/小時（150升/秒）的抽速,，實現(xiàn)大抽速、清潔無油的目標(biāo),，就能夠很好的滿足半 導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求,。

5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵

由于真空泵有選擇性抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來,，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。比如分子泵需要前級粗抽泵啟動,，與無油渦旋真空泵組合起來,，便會使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無油的真空環(huán)境。

如果被抽真空室要求清潔無油時,，應(yīng)該選各種無油真空泵,，如：無油渦旋真空泵、螺桿泵,、水環(huán)泵,、濺射離子泵、低溫泵以及分子篩吸附泵等。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施，如加冷阱,、障板,、擋油阱等。

另外還應(yīng)當(dāng)考慮被抽氣體的種類,，氣體中有無可凝蒸氣,、有無顆粒灰塵,、有無腐蝕性等,。選擇真空泵時，需要知道氣體成分,，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器,、除塵器等,。

6.考慮真空泵對周圍環(huán)境的影響

如果工作場所周圍環(huán)境不允許有污染，如潔凈室等,，就要選擇無油真空泵,，如無油渦旋真空泵等。

7.考慮真空泵工作時產(chǎn)生的噪音與振動對工藝過程及環(huán)境的影響

若工藝過程不允許噪音與振動,，如分析測試儀器,，就應(yīng)選擇噪音低、無振動的真空泵或者采取隔離罩,、軟連接等減噪,、防振措施。