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疑似點(diǎn)手工采樣實(shí)驗(yàn)室分析：

• 系統(tǒng)用于實(shí)驗(yàn)室中,，基于捕集能力強(qiáng)、去除雜質(zhì)能力強(qiáng),、抗吸附能力強(qiáng),、進(jìn)樣精確度高、各氣路專用,、全流程無(wú)冷點(diǎn),、清洗非常干凈等特點(diǎn)，共同作用,，得到更低的檢出限

• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對(duì)樣本進(jìn)行物質(zhì)全分析

• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測(cè)方法包

• 檢測(cè)時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì),，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

晶圓石英加熱爐，加熱揮發(fā)進(jìn)樣：

• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測(cè)方法包

• 檢測(cè)時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì),，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

3,、工作臺(tái) - 便攜式 AMC（VOCs）精準(zhǔn)分析系統(tǒng)

工作臺(tái) - 污染溯源分析：

• 分析快速

      單質(zhì)譜走航模式，儀器不經(jīng)過(guò)色譜柱直接進(jìn)入質(zhì)譜,，秒級(jí)分析,，實(shí)時(shí)出具數(shù)據(jù)。

• 靈敏度高

      針對(duì)性溯源,，靈敏度更高：?jiǎn)钨|(zhì)譜模式,，秒級(jí)響應(yīng)，實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯示污染情況,， 必要時(shí)可篩選離子使用 SIM 模式開展針對(duì)性走航,。

      膜進(jìn)樣技術(shù)使得樣品進(jìn)入質(zhì)譜前可以進(jìn)行二次富集，提高靈敏度

• 溯源精準(zhǔn)

      全新走航模式,，深入車間，直指源頭

       相對(duì)傳統(tǒng)走航設(shè)備質(zhì)量更輕,、抗震性更強(qiáng),，在傳統(tǒng)走航的基礎(chǔ)上可進(jìn)一步進(jìn)入車間，精準(zhǔn)溯源至污染產(chǎn)生工藝點(diǎn)位,，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)污染點(diǎn)的治理,。

• 結(jié)果準(zhǔn)確

        雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點(diǎn)分析模式

        使用 70eV EI 源 + 四級(jí)桿質(zhì)譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs,，依托標(biāo)準(zhǔn) NIST 譜庫(kù),，準(zhǔn)確定性；國(guó)標(biāo)加持,，結(jié)果與實(shí)驗(yàn)室可比,。

• 環(huán)境適用性強(qiáng)

     非機(jī)械泵真空系統(tǒng),，環(huán)境適用性更強(qiáng)

     摒棄高速旋轉(zhuǎn)組件，采用非機(jī)械真空泵,，解決多維大幅振動(dòng)中無(wú)法運(yùn)行檢測(cè)等問(wèn)題,。

數(shù)據(jù)結(jié)果與檢測(cè)譜圖

半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測(cè)解決方案介紹完畢，欲了解更多信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們 ,！