島津企業(yè)管理（中國）有限公司
紅外光譜法分析光刻膠的主成分
檢測樣品：光刻膠
檢測項目：成分分析
方案概述：光刻膠是微電子制造的核心材料之一,，具有極高的技術(shù)壁壘，其成分配方工藝對光刻產(chǎn)品的性能具有重大影響,。本文探索建立紅外光譜定性分析光刻膠主要成分的方法,，通過測試烘干光刻膠溶劑前后的紅外光譜圖，結(jié)合標準譜庫和官能團分析等手段,，可獲得光刻膠中主要成分信息,。該法具有分析速度快、操作簡單,、成本低和結(jié)果可靠等優(yōu)勢,，可作為分析光刻膠成分的手段之一。
光刻膠工藝和質(zhì)量直接關(guān)系微電子制造的性能和可靠性,其主成分及雜質(zhì)分析是質(zhì)量控制和研發(fā)的重要內(nèi)容,。紅外光譜儀是分析材料成分的有力工具,具有測試速度快,、成本低、結(jié)果可靠等優(yōu)點,，可為光刻膠的成分鑒別提供重要可靠數(shù)據(jù)支撐,。
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