雙頻激光干涉儀(型M700,德國耶拿爾公司生產(chǎn),,*)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2018/5/5 21:56:03
- 訪問次數(shù) 2933
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![]() 在德國,耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名,。位于該地區(qū)的耶拿爾(JENAer)公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,,由于具有*的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理,,德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀,,并非單頻干涉原理。 產(chǎn)品功能 定位精度,、重復(fù)定位精度,、位移距離測量、速度加速度測量,、線性度,、直線度、垂直度,、平面度,、偏擺角、俯仰角,、滾動角,、角速度,、圓形軌跡、微振動測量,,還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等,從而實現(xiàn)定位,、校準(zhǔn),、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量,,廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制,。 性能優(yōu)勢 l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz,。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別,。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定,。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,,德國耶拿爾公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工,。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商,。 l 測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,,各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),,則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件(直線度光學(xué)鏡),,其他不需要的功能暫時可以不采購;若后期有其他功能的需求,,補充采購功能對應(yīng)的部件即可,。 l 激光器壽命更長,可達20000小時,,激光穩(wěn)頻精度高,,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm,。 l 干涉鏡采用差分干涉原理,,系統(tǒng)精度更高,可達±0.4ppm,。 l 計算機輔助光路調(diào)整,,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快,,zui高達1MHz,,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇,。 l 被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,,分辨率達0.6nm(當(dāng)移動速度為1m/s時,,線性分辨率更可高達為0.1nm)。 l 無加速度限制,;當(dāng)光線微弱時,,性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時<200ns,;對電磁干擾不敏感,。 l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,,zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動,。 工作原理 型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式,。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm,,640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量,,不會出現(xiàn)干擾誤差,,信號延時時間極短。 采用光纖電纜,,把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上,,避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此,,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境,、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。 技術(shù)參數(shù)
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應(yīng)用光路圖
以上為直線度測量示意圖,,包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度,、速度,、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖
資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf
激光干涉儀說明書(中文).pdf