微位移測量激光干涉儀（型M800,，德國JENAer公司生產(chǎn),，*）

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
品牌
型號
產(chǎn)地德國
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2018/5/19 11:48:58
訪問次數(shù) 1451

產(chǎn)品標(biāo)簽

微位移測量激光干涉儀角度擺動激光干涉儀

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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)口儀器儀表,、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作,。為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理,，美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理,。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學(xué)粗糙度輪廓儀,、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀,、激光平面度測量儀,、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀,、孔同軸度檢測儀,、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀,、激光幾何測量系統(tǒng),、雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測量儀,、相位波前角色散測量儀,、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀等。

本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直,、對中,、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測,、直線度檢測,、平行度檢測、垂直度檢測,、孔的同軸度檢測,、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對中校正檢測等,。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測,、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測,、汽車發(fā)動機(jī)同軸度,、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測,，及機(jī)床的定位,、補(bǔ)償和運(yùn)動平臺的微位移檢測等。

展開

載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,色散測量儀,，雙頻激光干涉儀,，激光平面度測量儀，粗糙度輪廓儀,，輥筒平行度測量儀

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)品功能
    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測,、運(yùn)動平臺位移量和角度變化的檢測,、光刻機(jī)幾何量的測量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測量等,，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動,。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測物體的振動變化。
    1.納米級的多軸聯(lián)動位移,、速度,、加速度的動靜態(tài)測量分析及運(yùn)動控制環(huán)同步測量校準(zhǔn)；
    2.同步實(shí)時(shí)測量多軸聯(lián)動驅(qū)動部件的俯仰,、扭擺,、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動插補(bǔ)位移誤差及驅(qū)動匹配誤差分析；
    3.納米級振動的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測量和分析,。

性能優(yōu)勢 技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM800	使用高性能PCI或單片機(jī)式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	5mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：	zui多6個
線性測量距離：	2m
角度測量范圍：	± 3.5'
zui大速度：	2m/s
zui大加速：	無限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz,，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
位移測量分辨率：	1.25nm
位移測量精度：	±0.4ppm （μ/m）
角度測量分辨率：	0.003μrad
角度測量精度：	±0.1ppm實(shí)測值
數(shù)據(jù)接口：	積分信號 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

l 系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號同步數(shù)據(jù)處理器,，是真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz,。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定,。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工,。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商,。

l 激光器壽命更長,，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高,，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理,，系統(tǒng)精度更高,，可達(dá)±0.4ppm。

l 基于可朔源的激光波長為位移量度量基準(zhǔn),，應(yīng)用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號處理器,，克服了單頻激光干涉測量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強(qiáng)變化約束的弊端，具有*的增益,、高信噪比和抗電磁干擾性能,，實(shí)現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測量,。

l 采樣頻率更快,，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇,。

l 被測物體zui大速度16m/s（可選）,；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時(shí),，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）,。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí),，性能也十分穩(wěn)定,。

l 信號延時(shí)<200ns；對電磁干擾不敏感,。

l 對于多軸聯(lián)動復(fù)雜光路的角度和微位移的測量,，ZLM800型是理想的選擇,。

以下是為*某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例。在*個案例中,，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,，實(shí)時(shí)測試兩個擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況,。在第二個案例中,，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運(yùn)動情況,。

下述案例是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測量系統(tǒng),。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口,。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ,、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量,，以及這兩個目標(biāo)在Z方向的相對變化量,。