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VPC-260F 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型排氣設(shè)備
參考價(jià) | ¥ 8000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) VPC-260F
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/30 14:11:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 35
ULVACULVAC VPC-260FVPC-260FULVAC 排氣設(shè)備小型排氣設(shè)備VPC-260F
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光學(xué)設(shè)備,電子計(jì)測(cè)儀器,,科學(xué)儀器,,實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,機(jī)械加工設(shè)備,,環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型排氣設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型排氣設(shè)備
特征
通過(guò)玻璃鐘罩易于查看,,易于維護(hù)。
真空室可以在不停止主泵的情況下打開(kāi),。
由于增加了蒸發(fā)電源和電極,,因此可以同時(shí)進(jìn)行蒸發(fā)和多層蒸發(fā)。
它是帶腳輪的易于移動(dòng)的真空泵系統(tǒng),。
規(guī)范
型 | VPC-260F系列 | |
規(guī)范 | 極限壓力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa(帶 LN 冷阱) |
疏散時(shí)間 | 4.0×10-3帕/20分鐘 1.3×10-3Pa/20min(帶LN冷阱) | |
真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 (直徑 300mm × 300mm(高)) |
饋通套環(huán) | 8 個(gè)端口(第 8 側(cè)) | |
推薦基板尺寸(最大基板尺寸)※1 | □50mm ? □140mm(最大) | |
電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu) | 1 積分 |
蒸發(fā)電極 / 電源 | SEREM “PSE-150C” 1 組 0~10V 150A(Max) | |
排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴(kuò)散泵(風(fēng)冷) 200L/sec |
液氮捕集阱 | 選擇 | |
副泵 | 油旋轉(zhuǎn)泵100L/min | |
油霧捕集器 | 選擇 | |
作系統(tǒng) | 主閥 | 拍板閥 |
副閥 | 三通閥 | |
自動(dòng)泄漏閥 | 選擇 | |
控制 | 手動(dòng)控制 | |
控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | 選擇 |
電離真空計(jì) | 選擇 | |
設(shè)置 | 外部尺寸 Body | 530 毫米(寬)×550 毫米(深)×1135 毫米(高) |
電源 | 480 毫米(寬)×435.3 毫米(深)×149 毫米(高) | |
重量 Body | 75 公斤 | |
電源 | 40 公斤 |
※1:顯示最大板尺寸的值,,不考慮薄膜厚度分布。
效用
型 | VPC-250F系列 | |
所需功率 | 身體 | 100V 單相 50/60Hz 1.35kVA |
電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
接地端子 | D 級(jí)(接地電阻/100Ω 以下) | |
連接 | 本體 1Φ 100V | Cabtyre 電纜(帶插頭) 2m |
電源 1Φ 200V | Cabtyre 電纜(帶 R2.0-5 環(huán)形舌片端子) 2m |
尺寸圖
VPC-260F系列

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