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日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)
- 公司名稱 成都藤田光學(xué)儀器有限公司
- 品牌 MUSASHI/武藏
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/28 11:40:41
- 訪問(wèn)次數(shù) 19
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日本HOYA豪雅(UV固化燈,玻璃鏡片)，日本MUSASHI武藏(點(diǎn)膠機(jī)),，日本KANOMAX加野(粒子計(jì)數(shù)風(fēng)速儀),，日本FLUORO福樂(lè)(用于晶圓的搬 運(yùn))，日本AND艾安得(電子天平)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)
日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)
產(chǎn)品概述
FAD5100S-WH是日本MUSASHI武藏專為半導(dǎo)體先進(jìn)封裝研發(fā)的晶圓級(jí)全自動(dòng)點(diǎn)膠設(shè)備,，集成EFEM前端模塊實(shí)現(xiàn)300mm晶圓全自動(dòng)化處理，支持WLP/PLP/異種芯片集成等封裝工藝,。設(shè)備采用Class 5級(jí)潔凈設(shè)計(jì),，通過(guò)SECS/GEM協(xié)議與AMHS系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，滿足半導(dǎo)體fab廠24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)需求,。
核心技術(shù)
高速精準(zhǔn)涂布系統(tǒng)
搭載Mu SKY Capture技術(shù)實(shí)現(xiàn)無(wú)間歇連續(xù)作業(yè)，涂布速度達(dá)200點(diǎn)/秒,，換線時(shí)間≤15分鐘
動(dòng)態(tài)黏度管理（DVM）自動(dòng)調(diào)節(jié)0.001-1.2MPa壓力,，覆蓋50-500,000cps粘度材料
葉線涂布技術(shù)（MCD）形成理想膠路輪廓，解決≤50μm間距Chiplet互聯(lián)填充難題
智能防缺陷體系
AFC實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)動(dòng)態(tài)修正膠形,，將氣泡率控制在0.3%以下
高分辨率視覺(jué)定位（±3μm）結(jié)合激光翹曲補(bǔ)償,，實(shí)現(xiàn)±5μm KOZ區(qū)域涂布精度
EFEM集成方案
雙機(jī)械臂交替維護(hù)設(shè)計(jì),，稼動(dòng)率≥98%
晶圓映射數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)交互,，支持300mm FOUP/FOSB標(biāo)準(zhǔn)載具
應(yīng)用表現(xiàn)
3D IC封裝：10:1深寬比TSV通孔填充,，每小時(shí)處理1,200芯片
汽車電子：AEC-Q100 Grade 1級(jí)可靠性認(rèn)證，良率>99.97%
成本效益：PHM系統(tǒng)提前92%預(yù)警故障,，年維護(hù)成本降低30%
技術(shù)參數(shù)
指標(biāo)參數(shù)晶圓兼容性200/300mm最小點(diǎn)膠量0.5pL潔凈等級(jí)Class 5（ISO 1等效）涂布速度200點(diǎn)/秒
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