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石英/硅/聚合物模板 高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）
- 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
- 品牌
- 型號 石英/硅/聚合物模板
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/6/17 16:24:57
- 訪問次數(shù) 5465
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高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）技術參數(shù)：
Deliveryofnanoimprinttemplatesinvariousmaterials（Si,SiNx,SiC,quartz,glass）.Maximumareaofthetemplates:4inchwithfeaturesizeof100nm.Forsmallerarea,minimumfeaturesizeof50nm.
提供各種材料的納米壓印模板（硅,，氮化硅,，碳化硅，石英玻璃）,。模板zui大尺寸：4英寸,，特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸,，zui小的特征尺寸可以達到50nm,。
DeliveryofEBLserviceforvariousstructureswiththefeaturesizedownto30nm.Substrates:anyconductingornon-conductingwafers.
提供zui低30nm特征尺寸的各種結構的電子束刻蝕服務?；澹喝魏螌щ娀蛘叻菍щ娋?。
MicroandnanofabricationsforallkindsofnanostructuresinaSi,III-V,II-VIandpolymers.
各種納米結構（硅，III-V族元素,，II-VI族元素以及聚合物）的微納米加工,。
高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）主要特點：
softmoldforthermalnanoimprint熱壓印的軟模板
quartzmoldforUVnanoimprint紫外壓印的石英模板
siliconmoldforthermalnanoimprint熱壓印的硅模板
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