美國Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS

工作原理
通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波（>20KHz）,，用超聲波對樣品內(nèi)部進行高精度地掃描,，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,，再經(jīng)由軟件算法處理和成像,。SAM的核心構成為,，電氣部件、機械裝置,、聲學部件,、軟件系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,，而且對于 bump,、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有良好的檢測性能,。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,，使用 ECHO 的設備和軟件容易的設置和使用

Sonix ECHO LS非破壞超聲波掃描是一款提高生產(chǎn)、簡化測試,、改進生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實驗室設備,，無論是失效分析實驗室的詳細分析還是生產(chǎn)線檢測，Sonix都能提供一個易于操作的軟件解決方案,。
﹡WinIC Lab （詳細失效分析工具）
﹡WinIC Production （易于操作的,、新型的生產(chǎn)工具，專門用于生產(chǎn)的大量分析）


使用 ECHO 生產(chǎn)軟件改進生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率：
很容易設定和使用             監(jiān)測生產(chǎn)質(zhì)量
通過/失效存儲               簽定零件

被廣泛應用于半導體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè),，是一種理想的無損檢測儀器,，能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡,、雜質(zhì),、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,，通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波（>20KHz）,，用超聲波對樣品內(nèi)部進行高精度地掃描，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,，再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為,，電氣部件,、機械裝置、聲學部件,、軟件系統(tǒng),。

產(chǎn)品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對于 bump,、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有良好的檢測性能,。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,，使用 ECHO 的設備和軟件容易的設置和使用

工藝過程監(jiān)測
合格/失效分選
專業(yè)認證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應用和材料,。

關鍵特點：
減少實驗室空間（占地面積小）
鍵盤快捷鍵（方便移動操作）
全焊接機身框架（促進平臺穩(wěn)定性）
降低水槽高度（人體工程學設計）
可同時進行反射掃描和透射掃描
最大 360 度可視
超大掃描面積
水槽底部傾斜（易于排干水）
探頭隨 Z 軸移動（取代托盤上下移動）
可滑動支架
符合歐洲機械指令
緊湊,、穩(wěn)定的結構設計（低維護）
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑動的電氣面板（方便維護）
防靜電涂層（安全罩,、水槽、門等）

Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,，為能適用于所有類型的應用和材料設計


其它特性

美國Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS 規(guī)格

X 軸
定位裝置：線性伺服馬達,， 線性伺服馬達精度高,無磨損,無需定期做保養(yǎng)校正
最大掃描速度： 1000mm/秒
馬達精度： +/- 0.5 微米
線性光柵尺精度： 0.5 微米
最大掃描面積： 350mm

Y 軸                                                     Z 軸
定位裝置：步進馬達                                            定位裝置：步進馬達
精度： 0.25 微米                                             精度 ： 0.25 微米
最大行程： 350mm                                             最大行程： 50mm
夾具
托盤夾具,，掃描平臺以拖住整個 tray 掃描

機身尺寸和重量
.   31 inches X 31 inches X 48 inches
.   or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
.   360lbs. or 163.5kg

過濾系統(tǒng)
.     循環(huán)泵和 5 微米過濾器，有自動水循環(huán)系統(tǒng),，可把水中的雜質(zhì)過濾,，大大減少雜質(zhì)對掃描結果的影響

顯示器
.     雙顯示器

其它
.     高對比度水槽底
.     360 度可見，更方便觀察樣品情況

WinIC 軟件
TAMI： 一次掃描可同時獲得最多 100 張 C 超掃描圖像,， 在需要時,，可自動調(diào)節(jié)焦距，可看到 IC 所有的分界 面,，無需重掃,，所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
穿透掃描：包括穿透掃描接收器、探頭架,、探頭線
掃描模式：
A scan： 點掃描模式,， 示波器上顯示出反射波的相位和大小來檢測缺陷，用于確認檢測結果
B-scan： 橫截面掃描,，顯示每個界面垂直 x 方向的截面圖
C-scan： 面掃描,，在一個界面對焦后顯示的平行 x 方向的圖片，檢測的缺陷： 離層,， 芯片裂縫
TAMI： 多層掃描,，顯示所有界面上平行于 X 方向的2 ~999 層圖象
T-scan： 穿透掃描， 和 X 射線檢測相似的以透射超聲波為信號的檢測方法

數(shù)據(jù)獲?。?WinIC
圖像像素： 10000 x 10000 像素,，像素指標越高, 圖像放 大后的清晰度越好
保存圖像格式： TIFF, PCX, BMP, JPG 或其它格式
數(shù)據(jù)檢測方法： T.I 分析方法，采用 TI 方法對缺陷點進 行分析及判斷, 會更加準確.
相位檢測：有
射頻增益： 80dB,，高增益使能量更大,， 具備更強的穿透 能力


軟件功能:
自動計算缺陷面積 圖像增強
厚度測量
文字注釋

著色功能
距離測量
多幅 A-Scan 圖像 Z 軸驅(qū)動限制

Sonix Scan Mode(Sonix 掃描模式)
1. A-Scan(單點掃描)
2. B-Scan(橫截面掃描)
3. C-Scan(面掃描)
4. TAMI(多層掃描)
5. T-scan(穿透掃描)