單層潔凈烤箱專為半導(dǎo)體,、電子封裝、醫(yī)藥,、光學等高潔凈度行業(yè)設(shè)計,，通過精密溫控與高效過濾系統(tǒng)，實現(xiàn)無塵,、均勻的烘烤環(huán)境,。其核心功能包括：

潔凈控制：內(nèi)置HEPA或ULPA過濾器（過濾等級≥0.3μm），循環(huán)風道封閉設(shè)計,，防止外部污染進入,。

精準溫控：PID溫控系統(tǒng)（精度±1℃），多段程序控溫,，滿足固化,、退火、預(yù)熱等工藝需求,。

均勻性保障：強制對流風扇+均風板設(shè)計，確保腔內(nèi)溫度均勻性（±2℃~±5℃）,。

一,、技術(shù)特點

潔凈室兼容

箱體采用304/316L不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕易清潔,，符合Class 1000~10000潔凈標準,。

可選配充氮裝置（氮氣濃度可控99.99%），避免氧化或濕敏材料受潮,。

安全與節(jié)能設(shè)計

超溫報警,、防爆泄壓閥、獨立限溫器三重保護,，防止意外故障,。

低功耗隔熱層（巖棉/陶瓷纖維）降低能耗，節(jié)能達30%,。

靈活性與擴展性

支持定制尺寸（如450mm×450mm×450mm標準腔體）,，適配不同載具（如晶圓舟、托盤）,。

可集成MES系統(tǒng),，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯（如溫度曲線、運行日志）,。

二,、關(guān)鍵組件與工藝適配

加熱系統(tǒng)：碳纖維紅外加熱管或嵌入式電熱絲，升溫速率可調(diào)（0.5℃~10℃/min）,。

空氣循環(huán)：軸流風機+勻流孔板,，風速可調(diào)節(jié),，避免粉塵二次附著。

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體：光刻膠固化,、晶圓烘干,、BCB聚合物固化。

醫(yī)藥：注射劑瓶干燥,、醫(yī)療器械滅菌后烘干,。

光學：透鏡鍍膜固化、濾光片應(yīng)力消除,。

三,、操作與維護優(yōu)勢

人機界面：7英寸觸摸屏（支持中英文切換），預(yù)設(shè)工藝模板一鍵調(diào)用,。

清潔便捷：可拆卸不銹鋼內(nèi)腔,，R角設(shè)計，配合酒精或去離子水擦拭即可,。

認證標準：符合SEMI S2/S8,、ISO 14644-1潔凈度規(guī)范，CE/RoHS認證,。

四,、選型指南

基礎(chǔ)款：適用于常規(guī)電子元件烘烤（溫度范圍RT~300℃，潔凈度Class 1000）,。

高級款：添加真空泄漏檢測,、氧濃度監(jiān)控，適配MEMS傳感器,、LiDCO封裝等嚴苛工藝,。

單層潔凈烤箱通過高效過濾、精準控溫與安全防護,，解決高潔凈場景下的烘烤難題,，兼具穩(wěn)定性與靈活性，是精密制造的設(shè)備,。