高效、準確 晶圓級檢測顯微鏡產品介紹：

一,、智能快速的自動對焦

配置自動對焦模塊,，采用660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺和高幀率觀測相機,。

通過高度協同性和軟件算法,，快速確定樣品聚焦平面并保持持續(xù)追焦。

解決手動調焦問題,，提供高質量輸入,，推動科研與工業(yè)檢測進入全自動高保真時代,。

支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級此配件。

二,、智能高效的激光缺陷標記

配置激光缺陷標記模塊,，采用450nm和532nm的雙激光組合。

實現精準檢測與物理標識深度結合,，構建“發(fā)現-標記-處理”的閉環(huán)質檢體系,。

支持多種亞微米級激光應用，提供可追溯的數字化孿生錨點,。

三,、導航圖預覽、圖紙對比,、準確定位

導航圖預覽功能快速了解晶圓整體布局和結構,，節(jié)省尋找特定區(qū)域時間。

軟件中高級圖像分析能力實現晶圓實際圖像與設計圖紙實時對比,。

激光標記功能直接標記需改善位置,，便于優(yōu)化參數和制造工藝。

四,、第三方兼容,，實現晶圓自動搬運

兼容晶圓搬運模組，實現晶圓片的自動上下料,。

五,、主要模塊介紹

XY手動/電動運動臺模組

精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

帶離合器手柄，可快速移動

Z軸運動臺

配備電傳手輪和碼盤

微調精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

物鏡模組

采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡,，EPN半復消色差物鏡以及EPA復消色差物鏡

光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺（4英寸,，6英寸和8吋）

保留透射光路，支持液晶面板檢測功能

成像觀察模組

適配蔡司Axiocam系列相機,，?？低曄盗邢鄼C

適配蔡司目鏡（選配）

提供明場/暗場觀察方式，可選配微分干涉,、熒光和偏光觀察方式

遠程控制手柄

物鏡切換,、照明光強控制、反射/透射照明切換

電傳Z軸聚焦旋鈕,，XY運動軸遙感

缺陷標記和主動對焦快速確定按鈕

主動對焦模組

兼容主動對焦模組,，實現50×物鏡下實時對焦功能

缺陷標記模組

兼容缺陷標記模組，實現樣品缺陷部分實時標記

晶圓搬運模組

兼容晶圓搬運模組,，實現晶圓片自動上下料

高效,、準確 晶圓級檢測顯微鏡憑借其自動對焦、激光缺陷標記,、導航預覽和第三方兼容性等功能,，為科研和工業(yè)檢測提供了高效,、精準、全面的解決方案,。