3D顯微鏡/輪廓儀產(chǎn)品介紹

3D成像顯微鏡在形貌量測功能領域具有突出表現(xiàn)。由于物鏡的小分辨率和長焦深,，樣品不能由單次拍照獲得,。為了能夠觀察到長焦深范圍內小尺寸特征和結構，托托科技采用景深融合技術，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像，保證了樣品形貌量測準度和一致性,。同時，該系統(tǒng)還集成了景深延拓功能,，景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化,，實現(xiàn)對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細檢查物體表面,，并以長景深的方式獲取精確的三維成像。3D成像顯微鏡是一種快速且高分辨率的技術,，用于大范圍的表面拓撲測量,，能夠實現(xiàn)亞納米級分辨率的重建。

3D顯微鏡系列

具有高表面粗糙度重復精度,、高垂直方向的測量精度,、快速測量、觀測細節(jié)可視化,、數(shù)據(jù)化等優(yōu)勢,，同時能夠支持較大尺寸樣品，非常適用于各個領域的精密測量,。

神影 Miracle Vision系列提供了非接觸的表面形貌測量,，具有可重復性，可廣泛應用于半導體芯片,、光學透鏡,、金屬表面、汽車涂層,、MEMS器件等廣泛精密加工行業(yè)的形貌,、粗造度長度、曲率,、深度,、體積、顆粒分布等形貌測量,，同樣適用于航天,、醫(yī)療、材料,、科學研究領域,?？蓹z測各種粗糙度、各種反射率的器件表面,，檢測器件的表面尺寸從納米,、微米到毫米，都可由同一臺設備完成,，提供主流的國內外標準下,，上百種測量參數(shù)，將觀測細節(jié)可視化,、數(shù)據(jù)化,，一次完成。

Miracle Vision 3D顯微鏡

• 表面粗糙度重復精度高達0.1 nm

• 垂直方向測量精度可達1 nm

• 支持樣品尺寸可達1000 mm及以上

景深融合-清晰的2D成像

由于物鏡的小分辨率和長焦深不能由單次拍照獲得,。為了能夠觀察到長焦深范圍內小尺寸特征和結構,，托托科技采用景深融合技術，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像,。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化,，實現(xiàn)對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細檢查物體表面,，并以長景深的方式獲取精確的三維成像,。

白光干涉形貌儀-納米級的3D形貌量測

白光干涉形貌儀是一種快速且高分辨率的技術，用于大范圍的表面拓撲測量,，能夠實現(xiàn)亞納米級分辨率的重建,。