產(chǎn)品概述

GU-AI9000 是可獲得納米級(jí)別薄片的離子減薄儀，是透射電鏡樣品制備流程中的微納加工儀器，可將大部分金屬,、陶瓷,、涂鍍層等材料加工成厚度小于 200nm 的薄片。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 兩個(gè)離子源,，可獨(dú)立控制,，屬于無(wú)磁聚集型，離子束斑大,，電壓,、電流穩(wěn)定，適用于各種不同材料的透射電鏡樣品前處理,。

2. 采用全進(jìn)口的隔膜泵和半磁懸浮分子泵,，為樣品倉(cāng)提供高真空、穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,。同時(shí)泵體體積更小,，整體外觀占地更少，更方便使用,。（國(guó)產(chǎn)沒(méi)有相應(yīng)穩(wěn)定,、高真空的真空泵，故此核心部件仍選用進(jìn)口產(chǎn)品）,。

3. 半導(dǎo)體制冷,，可達(dá)-25℃，在不使用液氮制冷的情況下,，已能滿足大部分樣品的需求,。

4. 全中文操作界面，經(jīng)過(guò)多個(gè)版本的測(cè)試,，系統(tǒng)操作方便,、簡(jiǎn)單、穩(wěn)定,。

5. 可通過(guò)網(wǎng)線或 wifi 聯(lián)接網(wǎng)絡(luò),，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操作及觀測(cè)運(yùn)行情況，且便于售后及時(shí)監(jiān)測(cè)維護(hù),。

6. 外觀設(shè)計(jì)新穎,，占地小，便于擺放,。

7. 可根據(jù)應(yīng)用需求更新各種硬件和軟件設(shè)計(jì),，包括夾具、觀察系統(tǒng),、軟件和應(yīng)用方案等,，提供優(yōu)質(zhì)的,、更有針對(duì)性的服務(wù)。

離子減薄儀參數(shù)

離子源：雙離子源,，安裝角度90°,、180°可選

離子束能量：0-10KeV

離子槍與樣品加工面夾角：0-180°；3°,、6°或9°,；0-360°

加工速率：≤300um/h，Si

可容樣品尺寸：≤25×12×5.5mm,；≤25×25×20mm,；Φ3mm

擋板材質(zhì)：鉬或鈦；---,；---

真空泵：隔膜泵＋渦輪分子泵（無(wú)需冷卻水）

抽氣速率：大氣到工作狀態(tài)不高于3min

制冷：半導(dǎo)體制冷-25℃

工作氣體：氬,、氦、氧,、氙

保護(hù)功能：過(guò)流,、真空雙保護(hù)

控制系統(tǒng)：基于開(kāi)源操作系統(tǒng)自主研發(fā)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)