國產(chǎn)晶圓搬運機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 寧波舜宇儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/2 11:51:41
- 訪問次數(shù) 85
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國產(chǎn)晶圓搬運機是由高精度光學檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統(tǒng)組成，支持4-12寸的晶圓尺寸,，可輕松實現(xiàn)多角度,、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細節(jié)的高清捕捉,，可對半導體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù),、缺陷問題進行有效監(jiān)控，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器,。
國產(chǎn)晶圓搬運機兼具穩(wěn)定性和安全性,，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查,。
一個晶圓在經(jīng)過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元,，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè),。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等,。SOPTOP擁有AWL046,、AWL068、AWL812三種機型，多類配置,，分別可適用于 4/6 英寸,，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,，適應范圍廣,、搭配靈活 。
國產(chǎn)晶圓搬運機可自由設(shè)置的檢查模式,，充分符合人機工程學設(shè)計,，操作舒適、簡便,。
1.360°宏觀檢查：
AWL系列具有宏觀檢查手臂,，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn),，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵,。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,，晶背 1 最大傾斜角度 90°,，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能,、傾斜角度,，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
AWL系列具有宏觀檢查手臂,，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn),，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵,。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,，晶背 1 最大傾斜角度 90°,，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能,、傾斜角度,，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
2.人機工程學設(shè)計：
LCD 顯示屏,，可為操作者提供更直觀的視覺體驗,，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然,。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率,。
3.精密微觀檢查：
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡，可滿足明場,、暗場,、DIC、偏光等多種觀察方式,。全新電動控制系統(tǒng),，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出,，短路,，斷路,，沾污,，氣泡，殘留等,。
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡，可滿足明場,、暗場,、DIC、偏光等多種觀察方式,。全新電動控制系統(tǒng),，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出,，短路,，斷路,，沾污,，氣泡，殘留等,。
4.AWL 應用領(lǐng)域：
采購中心
化工儀器網(wǎng)