晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備

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公司名稱 寧波舜宇儀器有限公司
品牌 SOPTOP/舜宇
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/2/14 9:08:58
訪問次數(shù) 969

產(chǎn)品標(biāo)簽

晶圓檢查國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測

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公司介紹 主營產(chǎn)品

寧波舜宇儀器有限公司是舜宇光學(xué)科技集團(tuán)的全資子公司,，公司設(shè)有“顯微儀器”,、“智能裝備”、“半導(dǎo)體裝備”三大事業(yè)部,。

顯微儀器事業(yè)部主要從事光學(xué)顯微鏡,、“三化”（數(shù)碼化、自動化,、智能化）顯微鏡的研發(fā),、制造、營銷和服務(wù),，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研,、醫(yī)療、教學(xué),、工業(yè)等領(lǐng)域,，并與蔡司、奧林巴斯,、徠卡等保持長期的合作關(guān)系,。

智能裝備事業(yè)部專注于光學(xué)成像、軟件與圖像算法,、精密機(jī)械與自動化控制等技術(shù)的研究與應(yīng)用,，致力于自動化檢測和精密裝配設(shè)備的開發(fā)與制造，廣泛應(yīng)用于手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈,、車載產(chǎn)業(yè)鏈,、面板產(chǎn)業(yè)制造等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體裝備事業(yè)部聚焦半導(dǎo)體量檢測設(shè)備和儀器的開發(fā)與制造,，產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,，已與國內(nèi)頭部半導(dǎo)體企業(yè)建立合作關(guān)系，并將持續(xù)為中國半導(dǎo)體量檢測事業(yè)貢獻(xiàn)力量,。

展開

激光共聚焦顯微鏡,，生物顯微鏡，熒光顯微鏡,，金相顯微鏡,，體視顯微鏡，偏光顯微鏡，數(shù)碼顯微鏡,，工具顯微鏡

　　晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實(shí)現(xiàn)多角度,、全視野的宏觀檢查,、以及晶圓微觀細(xì)節(jié)的高清捕捉，可對半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù),、缺陷問題進(jìn)行有效監(jiān)控,，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

　　晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備兼具穩(wěn)定性和安全性,，能夠安全可靠的傳送晶圓,，適合于前道到后道工程的晶圓檢查一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元，期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速,、精確的傳送作業(yè),。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污,、缺陷等,。

　　SOPTOP擁有AWL046、AWL068,、AWL812三種機(jī)型,，多類配置，分別可適用于 4/6 英寸,，6/8英寸,、8/12英寸的晶圓檢測，適應(yīng)范圍廣,、搭配靈活 ,。

　　可自由設(shè)置的檢查模式，充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),，操作舒適,、簡便。

　　一,、應(yīng)用領(lǐng)域：

　　二,、360°宏觀檢查：

　　AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查,、晶背宏觀檢查1的360°旋轉(zhuǎn),，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察,。晶面最大傾斜角度70°,，晶背1最大傾斜角度90°,，晶背2最大傾斜角度160°，利用旋轉(zhuǎn)功能,、傾斜角度,，可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。