Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設計，運行數(shù)據(jù),、觸地計數(shù),、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù),。

各種通信規(guī)格：并行 I/O,、RS232C、RS485,、Profibus,、DeviceNet、EtherCAT

國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

用于反應產物的 TG-MI 系列渦輪分子泵的特點

對于易發(fā)生反應產物積累的器件,，該系列采用我們特創(chuàng)的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率,。

傳統(tǒng)的方法是加熱整個周圍區(qū)域

,，包括反應產物的目標部分

對策，并分散熱量,。

?無法有效使用,。

?對目標區(qū)域以外的區(qū)域的熱效應

TG-MI系列采取的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內部產生的吸入氣體的摩擦熱,，有效地提高氣體接觸部分的溫度

,，減少外部加熱器的輸出功率,，提高節(jié)能效果！

?減少對主要部件的熱影響,，減少對泵的損傷,。

?排氣管也采用隔熱材料。 保持最佳溫度并防止產品在排氣管中形成,。

結構與工作原理

（1）核心組件

轉子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉速約20,000~90,000 RPM）,。

定子葉片：與轉子交錯排列，形成氣體通道,。

電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）,。

排氣口：連接前級泵（如旋片泵），排出壓縮后的氣體,。

（2）工作原理

動量傳遞：高速旋轉的葉片撞擊氣體分子,，使其向下級運動（分子流態(tài)下有效）。

壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮,，最終由前級泵排至大氣,。

工作壓力范圍：依賴分子流狀態(tài)（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）。

?? 注：渦輪分子泵在**分子流態(tài)（壓力＜10?1 Pa）**下效率高,，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）,。