Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設(shè)計,，運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù),、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

各種通信規(guī)格：并行 I/O,、RS232C、RS485,、Profibus,、DeviceNet、EtherCAT

國際標(biāo)準：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣,、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理,、表面改性

?各種電子元件的制造

?分析、檢測設(shè)備

?管材,、光學(xué)元件的制造

?加速器,、放射線設(shè)施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

結(jié)構(gòu)與工作原理

（1）核心組件

轉(zhuǎn)子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM）,。

定子葉片：與轉(zhuǎn)子交錯排列,，形成氣體通道。

電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）,。

排氣口：連接前級泵（如旋片泵）,，排出壓縮后的氣體。

（2）工作原理

動量傳遞：高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,，使其向下級運動（分子流態(tài)下有效）,。

壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮，最終由前級泵排至大氣,。

工作壓力范圍：依賴分子流狀態(tài)（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）,。

?? 注：渦輪分子泵在**分子流態(tài)（壓力＜10?1 Pa）**下效率高,，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）。