Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設(shè)計(jì)，運(yùn)行數(shù)據(jù),、觸地計(jì)數(shù),、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù),。

各種通信規(guī)格：并行 I/O,、RS232C、RS485,、Profibus,、DeviceNet、EtherCAT

國際標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

用于反應(yīng)產(chǎn)物的 TG-MI 系列渦輪分子泵的特點(diǎn)

對于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件,，該系列采用我們特創(chuàng)的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu),，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)的方法是加熱整個(gè)周圍區(qū)域

,，包括反應(yīng)產(chǎn)物的目標(biāo)部分

對策,，并分散熱量。

?無法有效使用,。

?對目標(biāo)區(qū)域以外的區(qū)域的熱效應(yīng)

TG-MI系列采取的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外,，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體的摩擦熱,，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率,，提高節(jié)能效果,！

?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷,。

?排氣管也采用隔熱材料,。 保持最佳溫度并防止產(chǎn)品在排氣管中形成。

結(jié)構(gòu)與工作原理

（1）核心組件

轉(zhuǎn)子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM）,。

定子葉片：與轉(zhuǎn)子交錯(cuò)排列,，形成氣體通道。

電機(jī)：高頻交流電機(jī)或磁懸浮軸承電機(jī)（避免機(jī)械磨損）,。

排氣口：連接前級泵（如旋片泵）,，排出壓縮后的氣體。

（2）工作原理

動(dòng)量傳遞：高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,，使其向下級運(yùn)動(dòng)（分子流態(tài)下有效）,。

壓縮比：每級葉片對氣體進(jìn)行壓縮，最終由前級泵排至大氣,。

工作壓力范圍：依賴分子流狀態(tài)（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）,。

?? 注：渦輪分子泵在**分子流態(tài)（壓力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大氣壓下啟動(dòng)（會(huì)過熱損壞）,。