MSC-150T可編程旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，7英寸觸摸屏,，工業(yè)級(jí)直流電機(jī)及高級(jí)PLC控制，直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì),，美觀大方,。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片。該旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,、簡(jiǎn)單易用,，可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂。旋涂?jī)?nèi)腔可直接取下來(lái),，方便清洗,。

產(chǎn)品參數(shù)：

適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；

旋涂速度：100~10000rpm,；

轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm,；

旋涂加速度：100-10000rpm/s；

最大旋涂時(shí)間：3000s,；

旋涂時(shí)間精度：0.1s,；

可存儲(chǔ)多種不同基片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝參數(shù),。每個(gè)涂敷工藝流程可以設(shè)置多步不同的旋轉(zhuǎn)速度

產(chǎn)品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)

腔體尺寸：?220mm

重量：10KG

電壓：220V/50HZ

配置：標(biāo)配吸盤一組（10,、25、50,、100）mm,、無(wú)油真空泵一臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)

旋涂?jī)?nèi)腔PTFE

采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動(dòng),；

7英寸彩色觸屏控制,，易學(xué)易用；

精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示,；

采用高級(jí)PLC程序控制，可編程,，實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂,；

具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計(jì),；