產(chǎn)品概述：

    MSC-75T可編程勻膠機,，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，PP耐腐蝕內(nèi)腔,，4.3英寸觸摸屏，工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,，直觀清晰的程序界面與設(shè)計,，美觀大方。適合涂膠處理? 5~100mm圓晶尺寸基片,。
　　該勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊,、簡單易用，可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,，尺寸小巧,，可放入手套箱內(nèi)操作。PP材料旋涂內(nèi)腔,，可直接取下來,，方便清洗。

性能參數(shù)：

適用晶元尺寸范圍：? 5~100mm,；

旋涂速度：100~10000rpm,；

轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

旋涂加速度：100-10000rpm/s,；

最大旋涂時間：3000s,；

旋涂時間精度：0.1s；

勻膠機均勻性：≤±3%

內(nèi)腔直徑150mm,，內(nèi)腔采用凹面防濺設(shè)計,；

具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程10組程序,，每組程序5步,；

電源輸入：AC200-230

產(chǎn)品外型尺寸：290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)

產(chǎn)品特點：

設(shè)計緊湊，可輕松放置在手套箱內(nèi)使用；

PP材料旋涂內(nèi)腔,，耐腐蝕,；

采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動,；

4.3英寸彩色觸屏控制,，易學易用；

精確設(shè)置實驗參數(shù),，運行狀態(tài)實時顯示,；

經(jīng)CNC一體加工成型的PP內(nèi)腔，內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,，有效防濺,；

采用高級PLC程序控制，可編程,，實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂,；

具有電機進膠保護功能；管路易疏通設(shè)計,；

更多功能可咨詢,，支持定制。