天津實驗室高純氣路布局
- 公司名稱 京南華建(天津)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/6 15:41:12
- 訪問次數(shù) 91
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 食品,化工,石油,能源,電子 |
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高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道,。一般來說,,要求管道不要太長,不要有死角,,如不容易吹干凈的“盲管”,。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,,讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出,,從而管道中的氣體將正常流動,避免出現(xiàn)“死區(qū)”,。根據(jù)工藝氣體的質量要求,,必要時應設置終端凈化裝置。一般來說,,控制閥,、過濾器、減壓裝置,、壓力表,、流量計、在線分析儀器等,。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,,便于統(tǒng)一管理和控制,。
高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質含量,、顆粒含量等的不同要求,,采用相應質量的管道。例如,,半導體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,,而且由于其復雜的生產(chǎn)過程和精細加工,對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求,。從微米技術到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術,,對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格,10-6 (ppm級)不能滿足要求,。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級),,粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此,,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求,。
管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性,、出氣率,、吸附性、表面粗糙度,、耐磨性和耐腐蝕性,。
供氣系統(tǒng)管道安裝要求
、管道敷設應符合設計要求,,設計沒有要求時,,干氣管道應水平安裝;輸送濕氣的管道應安裝坡度不小于0.003,坡度應朝向冷凝水收集器,。
管道采用焊接連接,,鎢極氬弧焊打底,手工電弧焊覆蓋,。不銹鋼管焊接或點焊應采取充氬保護措施
氣體管道和設備,、閥門和其他附件應通過法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜
,、氣體管道穿過潔凈室時,,法蘭墊片或螺紋填料的外露部分,必須清理干凈
氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時,,必須采用集中安裝方式,,安裝應在48小時內分段組合,氮氣保護,,填充壓力不小于0.2兆帕
對于有接地要求的燃氣管道,,法蘭之間必須焊接導電跳線,。導體截面和焊接搭接長度應符合設計要求。焊點必須牢固可靠,。