實(shí)驗(yàn)室高純氣路管道系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求

氣路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備，是方便于實(shí)驗(yàn)室供氣及安全的氣路系統(tǒng),。主要用于實(shí)驗(yàn)室,、電子微電子、石油化工,、太陽能,、分析儀器,、核電廠、生物制藥,、質(zhì)監(jiān)局,、學(xué)校科研,、原子吸收光譜法,、廢氣分析、食品包裝,、海洋工業(yè),、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域。

　　1.管道,、球閥,、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯)，高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管,。高壓軟管的入口端設(shè)有單向閥,，可防止鋼瓶更換時軟管內(nèi)的氣體泄漏，同時防止外界空氣混入氣路,。

　　2.管道系統(tǒng):所有氣體管道均采用巴級316L不銹鋼管,，管道上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，使氣體在循環(huán)過程中不會被管道系統(tǒng)污染,，保證氣體的純度,。同時，應(yīng)有明確的標(biāo)志來指示氣體的流向,。

　　3.管道連接:母線和端子部分通過卡套連接,，便于減壓器和閥門的維護(hù)和管理。

　　4.終端:每臺儀表前應(yīng)配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個),。截止閥用于控制每個氣路的開啟和關(guān)閉;當(dāng)儀器需要調(diào)整和維護(hù)時,，可以停止任何定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調(diào)節(jié)終端的壓力,。

　　1.不銹鋼管外明內(nèi)凈是選,，其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管,。

　　2.室內(nèi)部件應(yīng)盡可能使用不銹鋼管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要,。

　　3.為了消除不必要的隱患,，減少管道可能的泄漏點(diǎn)，建議使用超長不銹鋼軟管,，容易彎曲和改變方向,。有時,，為了便于施工和設(shè)計，可以在管道中設(shè)置一些雙通和三通接頭,。

　　1.高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道,。通常要求管道不應(yīng)太長，并且不應(yīng)有不容易清洗的死角,，如“盲管”,。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,，少量氣體在管道末端連續(xù)排出,，從而管道中的氣體將正常流動，并且沒有“死區(qū)”,。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,，如有必要，還需要布置末端凈化裝置,。一般來說,，控制閥、過濾器,、減壓裝置,、壓力表、流量計,、在線分析儀器等,。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統(tǒng)一管理和控制,。

　　2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度,、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道,。例如，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工,，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù),，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級),，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm,。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求,。

　　3.管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性,、出氣率、吸附性,、表面粗糙度,、耐磨性和耐腐蝕性。

　　外觀檢查

　　1.管道布線應(yīng)水平,、平直和垂直;管子固定牢固,。

　　2.管道外表面無明顯損壞。

　　3.每個閥件沒有明顯損壞,。系統(tǒng)耐壓試驗(yàn)如果管道在充滿壓力后變形(如起泡,、扭曲、膨脹和其他現(xiàn)象),，這意味著系統(tǒng)不能在這種壓力下工作,。如果系統(tǒng)在此壓力下長時間工作，系統(tǒng)將在變形位置爆裂,，造成人身和財產(chǎn)損失,。

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