實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的功能

　　滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求和安全性,。雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動(dòng),、半自動(dòng)和全自動(dòng)切換功能，并設(shè)有低壓報(bào)警裝置,，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣壓,、濃度檢測報(bào)警和排氣，確?？蛻粽Ｓ脷夂蜕?cái)產(chǎn)安全,。

　　氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

　　鋼瓶(氣體壓縮機(jī))、鋼瓶固定架,、鋼瓶柜,、鋼瓶接頭,、金屬軟管、半自動(dòng)開關(guān)裝置,、一級(jí)減壓器,、二級(jí)減壓器、焊接三通,、焊接大,、小封頭、夾緊套筒閥,、不銹鋼管(BA),、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報(bào)警裝置等,。

　　實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

　　,、氣瓶存放室

　　氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實(shí)心墻，安裝防爆門,，設(shè)置防爆窗

　　室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能

　　應(yīng)安裝排氣扇,，隨時(shí)保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

　　、供氣系統(tǒng)需要兩級(jí)減壓供氣,。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa,，然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室,。二級(jí)減壓器安裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，便于對(duì)通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制,。用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器,。二級(jí)減壓器精確調(diào)節(jié)壓力(0.01兆帕)，獲得穩(wěn)定的壓力,，可以滿足儀器對(duì)不同使用壓力的要求,。一級(jí)減壓器和二級(jí)減壓器均配有壓力表，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力,。

　　,、采用雙側(cè)匯流排半自動(dòng)方式連續(xù)供氣，實(shí)驗(yàn)室使用要求,。更換氣瓶時(shí),，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊套更換氣瓶

　　、氫氣和乙炔,。應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄漏檢測和報(bào)警裝置,，并安裝阻火器，以防止明火回流,。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安全距離,。

　　實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局

　　高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道,。一般來說，要求管道不要太長,，不要有死角,，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口,。在一些非連續(xù)使用的用戶中,，讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動(dòng),，避免出現(xiàn)“死區(qū)”,。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必要時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置,。一般來說,，控制閥、過濾器,、減壓裝置,、壓力表、流量計(jì),、在線分析儀器等,。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統(tǒng)一管理和控制,。

　　高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度,、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道,。例如，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工,，對(duì)生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù),，對(duì)氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,，10-6 (ppm級(jí))不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級(jí))甚至10-12(ppt級(jí)),，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm,。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求,。

　　管道材料的特性對(duì)于輸送高純氣體的管道,，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率,、吸附性,、表面粗糙度,、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣系統(tǒng)管道安裝要求

　　,、管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求,，設(shè)計(jì)沒有要求時(shí)，干氣管道應(yīng)水平安裝;輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003,，坡度應(yīng)朝向冷凝水收集器,。

　　管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底,，手工電弧焊覆蓋,。不銹鋼管焊接或點(diǎn)焊應(yīng)采取充氬保護(hù)措施

　　氣體管道和設(shè)備、閥門和其他附件應(yīng)通過法蘭或螺紋連接,。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

　　,、氣體管道穿過潔凈室時(shí)，法蘭墊片或螺紋填料的外露部分,，必須清理干凈

　　氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時(shí),，必須采用集中安裝方式，安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合,，氮?dú)獗Ｗo(hù),，填充壓力不小于0.2兆帕

　　對(duì)于有接地要求的燃?xì)夤艿溃ㄌm之間必須焊接導(dǎo)電跳線,。導(dǎo)體截面和焊接搭接長度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求,。焊點(diǎn)必須牢固可

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