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Helios 5 PFIB DualBeam

具體成交價以合同協(xié)議為準

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       賽默飛世爾科技賽默飛世爾科技(紐約證交所代碼:TMO)是科學服務領域的世界領導者,。公司年銷售額超過250億美元。在全球擁有約70,000名員工,。我們的使命是攜手客戶,,讓世界更健康、更清潔,、更安全,。我們幫助客戶加速生命科學領域的研究、解決在分析領域所遇到的復雜問題與挑戰(zhàn),,促進醫(yī)療診斷發(fā)展,、加速藥物上市進程、提高實驗室生產(chǎn)力,。我們?nèi)虺^75,000名賽默飛員工將借助于一系列行業(yè)領先的品牌Thermo Scientific,、Applied Biosystems、Invitrogen,、Fisher Scientific,、Unity Lab Services和Patheon,為客戶提供另想的創(chuàng)新技術(shù)、便捷采購方案和全方位服務,。

      欲了解更多信息,,請瀏覽公司網(wǎng)站:www.thermofisher.com 賽默飛世爾科技中國簡介賽默飛世爾科技進入中國發(fā)展已超過35年,在中國的總部設于上海,,并在北京,、廣州、香港,、成都,、沈陽、西安,、南京,、武漢、昆明等地設立了分公司,,員工人數(shù)約為5000名,。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實驗室設備,、試劑,、耗材和軟件等,提供實驗室綜合解決方案,,為各行各業(yè)的客戶服務,。為了滿足中國市場的需求,現(xiàn)有7家工廠分別在上海,、北京,、蘇州和廣州等地運營。我們在全國還設立了8個應用開發(fā)中心以及示范實驗室,,將世界級的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給中國客戶,,并提供應用開發(fā)與培訓等多項服務;擁位于上海的中國創(chuàng)新中心,,擁有有100多位專業(yè)研究人員和工程師及70多項專利,。創(chuàng)新中心專注于針對垂直市場的產(chǎn)品研究和開發(fā),結(jié)合中國市場的需求和國外先進技術(shù),,研發(fā)適合中國的技術(shù)和產(chǎn)品,;我們擁有遍布全國的維修服務網(wǎng)點和特別成立的中國技術(shù)培訓團隊,,在全國有超過2600名專業(yè)人員直接為客戶提供服務,。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔,、更安全,。

      欲了解更多信息,請登錄網(wǎng)站:www.thermofisher.com 全國服務熱線:021-61621892公司電子郵箱:[email protected]

科學儀器

用于 TEM 樣品制備(包括 3D 表征、橫截面成像和微加工)的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam(聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM)是具有的功能,,專用于材料科學和半導體應用的顯微鏡,。材料科學研究人員可以通過 Helios 5 PFIB DualBeam 實現(xiàn)大體積 3D 表征、無鎵樣品制備和精確的微加工,。半導體設備,、先進包裝技術(shù)和顯示設備的制造商通過 Helios 5 PFIB DualBeam 可實現(xiàn)無損傷、大面積反處理,、快速樣品制備和高保真故障分析,。

材料科學的主要特點


無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

由于新 PFIB 色譜柱可實現(xiàn) 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優(yōu)異性能,因此可以實現(xiàn)高質(zhì)量,、無鎵  TEM 和 APT 樣品制備,。

新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實現(xiàn)高通量和高質(zhì)量的統(tǒng)計學相關(guān) 3D 表征、橫截面成像和微加工,。

低能量下具有亞納米性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術(shù)的 Elstar 電子色譜柱,,可以在低能量下實現(xiàn)亞納米性能,從而顯示最細致的細節(jié)信息,。

先進的功能

通過 FIB/SEM 系統(tǒng)采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng),,實現(xiàn)的電子和離子束誘導沉積及蝕刻功能。

短時間獲得納米級信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù),,任何經(jīng)驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息,。

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、地實現(xiàn)自動化的多點原位非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像,。

多模式亞表面和 3D 信息

使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件,,訪問高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區(qū),。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成檢測器獲得清晰,、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息。

無偽影成像

無偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式,,例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式,。

精確的樣品導航

由于 150 mm 壓電載物臺和選配腔室內(nèi) Nav-Cam 導航具有高穩(wěn)定性和準確性,可根據(jù)具體應用需求定制精確的樣品導航,。

材料科學規(guī)格

Helios 5 PFIB CXe DualBeamHelios 5 PFIB UXe DualBeam
電子光學系統(tǒng)
  • Elstar 超高分辨率場發(fā)射 SEM 色譜柱,,具有:

    • 浸沒式磁物鏡

    • 可提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流的高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射槍

    • UC+ 單色器技術(shù)

電子束分辨率
  • 在優(yōu)化工作距離 (WD) 處:

    • 1 kV 時 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 時 1.0 nm

  • 在重合點:

    • 15 kV 時 0.6 nm

    • 1 kV 時 1.2 nm

電子束參數(shù)空間
  • 電子束電流范圍:0.8 pA 至 100 nA

  • 加速電壓范圍:200 V – 30 kV

  • 著陸能量范圍:20* eV – 30 keV

  • 最大水平射野寬度:4 mm WD 時 2.3 mm

離子光學系統(tǒng)
  • 高性能 PFIB 色譜柱,帶電感耦合 Xe+ 等離子 (ICP)

    • 離子束電流范圍:1.5 pA 至 2.5 µA

    • 加速電壓范圍: 500 V - 30 kV

    • 最大水平射野寬度:在等離子束重合點處為 0.9 mm

  • 重合點時的離子束分辨率

    • <使用統(tǒng)計方法在 30 kV 時為 20 nm

    • <在 30 kV 下使用選擇角方法時為 10 nm

檢測器
  • Elstar 鏡筒內(nèi) SE/BSE 檢測器(TLD-SE,、TLD-BSE)

  • Elstar 色譜柱內(nèi) SE/BSE 檢測器 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

  • 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機

  • 用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉(zhuǎn)換和電子 (ICE) 檢測器

  • 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導航攝像機*

  • 可伸縮,、低電壓、高對比度,、定向,、固態(tài)反向散射電子檢測器 (DBS)*

  • 集成的等離子束電流測量

載物臺和樣品

靈活的 5 軸電動平臺:

  • XY 范圍:110 mm

  • Z 范圍:65 mm

  • 旋轉(zhuǎn):360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +90°

  • XY 重復性:3 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 85 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:5 kg (包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉(zhuǎn)時 110 mm(也可以是更大的樣品,,但旋轉(zhuǎn)有限)

  • 計算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

高精度,5 軸電動樣品臺(帶 XYR 軸),,壓電驅(qū)動

  • XY 范圍:150 mm

  • Z 范圍:10 mm

  • 旋轉(zhuǎn):360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +60°

  • XY 重復性:1 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 55 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:500 g(包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉(zhuǎn)時 150 mm(也可以是更大的樣品,,但旋轉(zhuǎn)有限)

  • 計算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

















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