Helios 5 PFIB DualBeam
- 公司名稱 賽默飛世爾科技(中國)有限公司
- 品牌 FEI/賽默飛
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/1/20 16:36:06
- 訪問次數(shù) 113
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用于 TEM 樣品制備(包括 3D 表征、橫截面成像和微加工)的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡
Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam(聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM)是具有的功能,,專用于材料科學和半導體應用的顯微鏡,。材料科學研究人員可以通過 Helios 5 PFIB DualBeam 實現(xiàn)大體積 3D 表征、無鎵樣品制備和精確的微加工,。半導體設備,、先進包裝技術(shù)和顯示設備的制造商通過 Helios 5 PFIB DualBeam 可實現(xiàn)無損傷、大面積反處理,、快速樣品制備和高保真故障分析,。
材料科學的主要特點
無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備
由于新 PFIB 色譜柱可實現(xiàn) 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優(yōu)異性能,因此可以實現(xiàn)高質(zhì)量,、無鎵 TEM 和 APT 樣品制備,。
新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱
使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實現(xiàn)高通量和高質(zhì)量的統(tǒng)計學相關(guān) 3D 表征、橫截面成像和微加工,。
低能量下具有亞納米性能
憑借具有高電流 UC+ 單色器技術(shù)的 Elstar 電子色譜柱,,可以在低能量下實現(xiàn)亞納米性能,從而顯示最細致的細節(jié)信息,。
先進的功能
通過 FIB/SEM 系統(tǒng)采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng),,實現(xiàn)的電子和離子束誘導沉積及蝕刻功能。
短時間獲得納米級信息
借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù),,任何經(jīng)驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息,。
先進的自動化
使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、地實現(xiàn)自動化的多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像,。
多模式亞表面和 3D 信息
使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件,,訪問高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區(qū),。
完整的樣品信息
可通過多達六個集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成檢測器獲得清晰,、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息。
無偽影成像
無偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式,,例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式,。
精確的樣品導航
由于 150 mm 壓電載物臺和選配腔室內(nèi) Nav-Cam 導航具有高穩(wěn)定性和準確性,可根據(jù)具體應用需求定制精確的樣品導航,。
材料科學規(guī)格
Helios 5 PFIB CXe DualBeam | Helios 5 PFIB UXe DualBeam | |
電子光學系統(tǒng) |
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電子束分辨率 |
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電子束參數(shù)空間 |
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離子光學系統(tǒng) |
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檢測器 |
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載物臺和樣品 | 靈活的 5 軸電動平臺:
| 高精度,5 軸電動樣品臺(帶 XYR 軸),,壓電驅(qū)動
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規(guī)格