KAKUHUNTER寫真化學(xué) 反射多層成像膜厚計

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 反射多層成像膜厚計

 這是一種膜厚計，可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化,。

由于使用光學(xué)干涉法計算膜厚,，因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。

測量顯微鏡視野內(nèi)任何區(qū)域的

膜厚和膜質(zhì)量分布,，并以 3D 形式顯示分布

分辨率相當(dāng)于可見光波長干膜測厚儀

波長范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量

使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計算引擎進行并行計算

應(yīng)用實例

① 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜,、溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)。

② 使用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估算亞微米圖案的密度

③ 局部結(jié)晶度評價

您可以根據(jù)工作和應(yīng)用選擇物鏡,。

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