KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測繪膜自動薄膜厚儀

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測繪膜自動薄膜厚儀

特征

測繪膜厚儀能夠自動測繪晶圓整個表面的膜厚，最大可達(dá)300毫米,。自動對準(zhǔn)功能和高度平坦的晶圓吸盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚測量,。 另外，通過設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的裝載口,，可以在保持清潔度的同時管理制造裝置上的膜厚,。

1可對最大 300mm 的晶圓進(jìn)行全表面自動薄膜厚度測繪

2自動對位功能

3通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內(nèi)的測量可靠性

通過自動檢測缺口和定向平面位置以及自動檢測晶圓偏心,，實(shí)現(xiàn)高精度測量,。

4可以根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源

5透明蓋使測量過程中的運(yùn)動一目了然

6一體化設(shè)計節(jié)省空間

測量數(shù)據(jù)示例（2D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測量數(shù)據(jù)示例（3D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測量數(shù)據(jù)示例（膜厚頻率分布）

貼合晶圓的硅厚度

測量數(shù)據(jù)示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）

5個晶圓的膜厚分布趨勢

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎,、REVOX萊寶克斯,、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高,、NEWKON新光,、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué),、DRY-CABI東利繁,、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田,、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾,、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克,、FUNATECH船越龍,、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰,、DNP大日本科研,、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯,、ORIHARA折原,、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋,、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得,、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波,、OKANO岡野

IMV艾目微,、MITUTOYO三豐、KYOWA共和,、ONOSOKKI小野,、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡,、SHOWA昭和,、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密,、SANSYO三商,、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美,、EIWA榮和,、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計,、紫外線裝置燈管,、LED視覺光源、表面檢查燈,、手持檢測燈

變色燈箱,、色差儀、鹵素光源裝置,、應(yīng)力表面檢查儀,、LED光源機(jī)、電子天平,、粘度計,、膜厚計，恒流泵,、采樣泵,、PH計、水分計,、地震測試儀,、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器,、氣體檢測儀,，接近開關(guān)、拉拔機(jī),、異音檢測儀、離心機(jī)，下死點(diǎn)檢測裝置,、空氣測量泵,、應(yīng)變測試儀等期待您的咨詢。