石英舟清洗機(jī)是一種專門用于清洗半導(dǎo)體制造過程中使用的石英舟和石英管的設(shè)備,。以下是對石英舟清洗機(jī)的詳細(xì)介紹：

設(shè)備構(gòu)成

機(jī)械手：帶動花籃進(jìn)行水平和升降運(yùn)動，使石英舟在超純水工藝槽和化學(xué)工藝槽內(nèi)進(jìn)行振動清洗,。

管路系統(tǒng)：對廢液進(jìn)行分類排放及回收,，減少廢液處理過程中的浪費(fèi)，節(jié)省回收成本,。

自動補(bǔ)液功能：通過液位傳感器控制,，確保清洗液的穩(wěn)定供應(yīng),。

技術(shù)特點(diǎn)

藥液循環(huán)過濾：保持清洗液的清潔度，提高清洗效果,。

爐管滾動：使石英舟在清洗過程中均勻受力,，避免局部殘留。

獨(dú)取樣口：方便對清洗效果進(jìn)行實時監(jiān)控,。

安全措施：排酸權(quán)限分級,、排酸彈窗確認(rèn)、門鎖Interlock,、EMO等,，確保設(shè)備操作的安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要用于半導(dǎo)體制造過程中的石英舟和石英管的清洗,，如8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管,。