中圖儀器SuperViewW摩擦磨損形貌白光干涉測量儀是以白光干涉技術為原理,，結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,，并獲取反映器件表面質量的2D,、3D參數，從而實現對摩擦磨損區(qū)進行全面的分析判斷,。

白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數據處理和分析步驟,，結合自動單測量功能,，實現一鍵測量；

6)數據處理功能：提供位置調整,、去噪,、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,；

7)數據分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板,，針對同類型參數實現一鍵批量分析,；

9)數據報表導出：支持word、excel,、pdf格式的數據報表導出功能,，支持圖像、數值結果的導出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié),、光源亮度調節(jié),、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設備調試和故障排查提供定量依據,；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數據的高精度,；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護,，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲,；設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險,。

SuperViewW摩擦磨損形貌白光干涉測量儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。結果組成：

1,、三維表面結構：粗糙度,，波紋度，表面結構,，缺陷分析,，晶粒分析等；

2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量,；

6,、微電子表面分析和MEMS表征。

應用領域圖片

對各種產品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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