熱拆鍵合機(jī)
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:26:03
- 訪問(wèn)次數(shù) 103
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純水機(jī),,離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,,光譜儀,,質(zhì)譜儀,頻譜儀,,示波器,,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,磁控濺射
v 該系統(tǒng)是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術(shù),,通過(guò)釋放熱量將載體剝離
v FOWLP優(yōu)化熱拆鍵合技術(shù)
v 全自動(dòng)脫膠
v FOWLP晶圓翹曲控制和監(jiān)測(cè)
v FOWLP晶圓正面標(biāo)記
v 全自動(dòng)翹曲矯正模式
v 晶圓尺寸:300/330 mm
v 溫度控制:20~240℃ ±2℃
v 裝載和卸載:手動(dòng)/全自動(dòng)
v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm 矯正后的翹曲:<1 mm
v 晶圓傳輸系統(tǒng):三溫?zé)o接觸傳輸
v ESD控制:帶有自動(dòng)反饋傳感器的電離器