中圖儀器NS系列納米測(cè)厚臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度,、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數(shù)的測(cè)量,。它采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,，同時(shí),，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制,、標(biāo)定算法等核心技術(shù),，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度,，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻,、濺射、SIMS,、沉積,、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra,、RMS,、Rv、Rp,、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù),。

3）應(yīng)力測(cè)量：可測(cè)量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測(cè)量模式與分析功能

1）單區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點(diǎn)和掃描長(zhǎng)度,，即可開(kāi)始測(cè)量,。

2）多區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，可根據(jù)橫向和縱向距離來(lái)陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項(xiàng)掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測(cè)量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動(dòng)測(cè)量,。

3）3D測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€(xiàn)條的間距與數(shù)量完成整個(gè)掃描面區(qū)域的設(shè)置,，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類(lèi)被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì),。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號(hào)中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機(jī),，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡,。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測(cè)針,，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí)，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針,，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護(hù)煩惱,。

磁吸針實(shí)物外觀(guān)圖（330μm量程）

應(yīng)用領(lǐng)域

NS系列納米測(cè)厚臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué),、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體,、高亮度LED,、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電,、觸摸屏,、汽車(chē)、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域,。

應(yīng)用案例

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）