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BTF-1200C-SL-A 等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,,基地位于安徽合肥,,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn),、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè),。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列,、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個(gè)子類,,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地,。
      連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù),。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,,CVD系統(tǒng),,PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

一,、設(shè)備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng),。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng),、自動推進(jìn),、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,,使設(shè)備更加智能化,,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調(diào),,加熱區(qū)域長度:1650mm,。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,,復(fù)合薄膜,,連續(xù)生長各種薄膜等。


二,、技術(shù)參數(shù)

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

最大滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質(zhì)量流量計(jì)

兩路500sccm+5000sccm

機(jī)械泵

10m3/h

設(shè)備凈重

約230Kg






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