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Propel 300mm GaN 金屬化學氣相沉積MOCVD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 Veeco
  • 型號 Propel 300mm GaN
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/6 11:07:25
  • 訪問次數(shù) 562
產(chǎn)品標簽

金屬化學氣相沉積MOCVD

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè),。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備、半導體分析測試設備,、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護,、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務,。

公司目前已授實用新型權利 29 項,,軟件著作權 14 項,,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺,快速退火爐,,光刻機,,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

Propel™ 300mm全自動單晶圓簇系統(tǒng)是經(jīng)過行業(yè)驗證的GaN MOCVD工具,,能夠在300mm襯底上生產(chǎn)5G RF、Photonic和先進的CMOS器件,。

Propel 300mm 系統(tǒng)采用單晶圓反應器平臺,,能夠在 300mm 晶圓上生產(chǎn)的高質(zhì)量外延膜,具有出色的均勻性,、可重復性和產(chǎn)量,。Propel 300mm 系統(tǒng)可配置多達 3 個模塊化集群室,并提供自動化的膜包到膜包處理,,以實現(xiàn)最大的靈活性和生產(chǎn)率,。

單晶圓反應器基于 Veeco  TurboDisc® 設計,包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技術,,可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布,。客戶可以輕松地將工藝從 Veeco 單晶圓反應器 Propel 和 Propel HVM 系統(tǒng)轉移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng),,以便快速開發(fā)到生產(chǎn),。




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