Propel 300mm GaN 金屬化學氣相沉積MOCVD
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號 Propel 300mm GaN
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/6 11:07:25
- 訪問次數(shù) 562
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Propel™ 300mm全自動單晶圓簇系統(tǒng)是經(jīng)過行業(yè)驗證的GaN MOCVD工具,,能夠在300mm襯底上生產(chǎn)5G RF、Photonic和先進的CMOS器件,。
Propel 300mm 系統(tǒng)采用單晶圓反應器平臺,,能夠在 300mm 晶圓上生產(chǎn)的高質(zhì)量外延膜,具有出色的均勻性,、可重復性和產(chǎn)量,。Propel 300mm 系統(tǒng)可配置多達 3 個模塊化集群室,并提供自動化的膜包到膜包處理,,以實現(xiàn)最大的靈活性和生產(chǎn)率,。
單晶圓反應器基于 Veeco TurboDisc® 設計,包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技術,,可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布,。客戶可以輕松地將工藝從 Veeco 單晶圓反應器 Propel 和 Propel HVM 系統(tǒng)轉移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng),,以便快速開發(fā)到生產(chǎn),。