1. 產(chǎn)品概述：

主要由蒸發(fā)真空室,、e 型電子槍,、熱阻蒸發(fā)組件、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺,、工作氣路,、抽氣系統(tǒng),、真空測量,、安裝機(jī)臺及電控系統(tǒng)等部分組成，具備自動控制軟件系統(tǒng),。

2. 設(shè)備用途/原理：

沈陽科儀 DZS500 系統(tǒng)用途廣泛,。電子束蒸發(fā)可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料，比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高,、束流密度大,、蒸發(fā)速度快,，制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,，厚度可以較準(zhǔn)確地控制,，可以廣泛應(yīng)用于制備高純薄膜和導(dǎo)電玻璃等各種光學(xué)材料薄膜。在科研領(lǐng)域,，它常用于材料研究和新型器件的開發(fā),；在工業(yè)生產(chǎn)中，可用于大規(guī)模制造高質(zhì)量的薄膜產(chǎn)品,。例如,，在制造液晶顯示器的導(dǎo)電薄膜時，能夠保證薄膜的導(dǎo)電性和均勻性,，提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。

3. 特色參數(shù)：

o 真空室結(jié)構(gòu)：采用 U 形前開門。

o 真空室尺寸：500x500x600mm,。

o 極限真空度：≤6.67e-5Pa,。

o 沉積源：4 個 11cc 坩堝。

o 樣品尺寸與溫度：可放置 φ4 英寸的 1 片樣品,，最高溫度可達(dá) 800℃,。

o 占地面積：約 2.7 米 x1.7 米 x2.1 米。

o 電控描述：全自動,。

o 工藝：片內(nèi)膜厚均勻性≤±3%,。

o 特色參數(shù)：樣品可自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào),。

4. 設(shè)備特點(diǎn)

沈陽科儀 DZS500 系統(tǒng)的真空室具有一些顯著特點(diǎn),。其極限真空度表現(xiàn)出色，通常能夠達(dá)到≤6.67×10?? Pa（經(jīng)烘烤除氣后）,。停泵關(guān)機(jī) 12 小時后,，蒸發(fā)室真空度≤5Pa，這表明其真空保持能力較強(qiáng),。真空室的結(jié)構(gòu)通常為 U 形前開門,，尺寸一般為 500×500×600mm。這種設(shè)計(jì)不僅方便操作,，還有利于維持真空環(huán)境的穩(wěn)定性,。在實(shí)際應(yīng)用中，良好的真空室特點(diǎn)能夠?yàn)楸∧こ练e提供高質(zhì)量的真空條件,，減少雜質(zhì)和氣體對薄膜質(zhì)量的影響,。比如在制備高精度光學(xué)薄膜時，穩(wěn)定的真空環(huán)境能夠確保薄膜的均勻性和純度。