JGP450 高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號 JGP450
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 10:16:29
- 訪問次數(shù) 393
產(chǎn)品標簽
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1.產(chǎn)品概述：
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學薄膜,、電學薄膜、磁性薄膜,、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等,，工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),，采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng),。
2.設(shè)備用途：
用于納米單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜,、金屬膜,、半導體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備,?？蓮V泛應用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目,。
3.真空室結(jié)構(gòu):
圓筒形上升蓋尺寸例如φ450×350mm,，采用不銹鋼材料制造，可進行內(nèi)烘烤,，接口處采用金屬墊圈或氟橡膠圈密封,。
真空室尺寸:φ450×350mm
限真空度:≤6.0E-5Pa包括分子泵和機械泵，通過超高真空閘板閥主抽，并設(shè)有旁路抽氣
沉積源:永磁靶3套,，φ2英寸
樣品尺寸,，溫度:φ2英寸,6片; φ4英寸,1片; 高800℃
占地面積（長x寬x高）:約2米×1.5米×2米
電控描述:全自動
工藝:片內(nèi)膜厚均勻性：≤±3%
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