1.產(chǎn)品概述：
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜,、電學(xué)薄膜、磁性薄膜,、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,，工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),，采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng),。
2.設(shè)備用途：
用于納米單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜,、金屬膜,、半導(dǎo)體膜,、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應(yīng)用于大院校,、科研院所的薄膜材料的科研項目。例如可用于制備各種功能性薄膜,，如具有吸收,、透射、反射,、折射,、偏光等作用的薄膜；適用于微電子域,；在光學(xué)域,，可用于制備增透膜、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等,；在機(jī)械加工行業(yè)中,，可沉積表面功能膜、超硬膜,、自潤滑薄膜等,，以提高表面硬度、復(fù)合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能；還可應(yīng)用于高溫超導(dǎo)薄膜,、鐵電體薄膜,、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料,、太陽能電池,、記憶合金薄膜等的研究。