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PPS8200P1 全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備
參考價(jià) | ¥ 13214 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 ORC/日本
- 型號(hào) PPS8200P1
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/8/6 9:53:03
- 訪問次數(shù) 212
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日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器,、各類檢測(cè)儀器,、測(cè)量儀器、食品設(shè)備,、光學(xué)設(shè)備,、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,地礦,電子,電氣,綜合 |
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全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備
全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測(cè)量儀器,。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備,。
請(qǐng)使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量),。
這是一種小型、輕量的手持式,,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量,。可以輕松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度,。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25,、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸,。它還具有模擬輸出,。它是一種小型輕便的手持式測(cè)量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備,。
請(qǐng)使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量),。
這是一種小型、輕量的手持式,,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量,。可以輕松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度,。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25,、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸,。它還具有模擬輸出。
模型 | PPS-8200p1/8300p1 |
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晶圓尺寸 | 6/8/12英寸 |
解決 | 2.0 µmL/S(2.0 µm 抗蝕劑厚度) |
NA(數(shù)值孔徑) | 0.16,、0.1 變量 |
減速比 | 1:1 |
場(chǎng)地大小 | 52毫米×33毫米 |
曝光波長 | ghi-Line gh-line i-line(食譜鏈接) |
標(biāo)線尺寸 | 6寸 |
疊加精度 | ≤0.5 µm(|平均|+3σ) |
設(shè)備尺寸/重量 | (寬)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg |
主要選項(xiàng) | 背面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 晶圓周邊曝光系統(tǒng) 晶圓周邊非曝光系統(tǒng) 薄晶圓輸送系統(tǒng) 兼容GEM通信 內(nèi)聯(lián)兼容 |
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