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SPECTOR 離子束濺射 (IBD) 光學鍍膜系統(tǒng)

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護,、保養(yǎng),、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,,軟件著作權 14 項,,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺,快速退火爐,,光刻機,,納米壓印,、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

的交鑰匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 離子束濺射 (IBD) 光學鍍膜系統(tǒng),,實現(xiàn)更高的精度和薄膜工藝靈活性,。SPECTOR IBD 光學鍍膜系統(tǒng)具有多種夾具、目標組件和光學監(jiān)控系統(tǒng)選項,,可滿足幾乎所有光學薄膜制造應用的產(chǎn)量和器件性能要求,。

SPECTOR 雙離子束濺射系統(tǒng)

  • 可互換的平臺可容納行星式、簡單旋轉或翻轉式夾具

  • 為電信應用提供 200,、100 和 50 GHz DWDM 濾波器的高產(chǎn)量

  • 滿足嚴格的器件規(guī)格,,如窄通帶、寬阻帶,、陡斜率和低插入損耗

  • 生產(chǎn)增透膜,、復雜的非四分之一波鍍膜和超低損耗激光反射鏡

  • 制造具有個位數(shù) ppm 水平的吸收和散射的鏡子

  • 高能工藝提供更好的堆積密度和低針孔密度

  • 低壓操作提供高薄膜純度


SOURCERER系統(tǒng)管理器具有的圖形界面,具有實時和動畫運動功能,,與市場上任何其他離子束系統(tǒng)控制包相比,,SOURCERER®系統(tǒng)管理器提供了更多的控制和靈活性。使用簡單的命令或易于導入的薄膜設計,,工藝工程師可以開發(fā)先進的自動化配方,,開始工藝運行,并在運行完成后返回,。結合 Veeco 的工藝知識和響應迅速的全球服務組織,,我們在售前和售后都設定了標準。




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