的交鑰匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 離子束濺射 （IBD） 光學鍍膜系統(tǒng),，實現(xiàn)更高的精度和薄膜工藝靈活性,。SPECTOR IBD 光學鍍膜系統(tǒng)具有多種夾具、目標組件和光學監(jiān)控系統(tǒng)選項,，可滿足幾乎所有光學薄膜制造應用的產(chǎn)量和器件性能要求,。

SPECTOR 雙離子束濺射系統(tǒng)

• 可互換的平臺可容納行星式、簡單旋轉或翻轉式夾具

• 為電信應用提供 200,、100 和 50 GHz DWDM 濾波器的高產(chǎn)量

• 滿足嚴格的器件規(guī)格,，如窄通帶、寬阻帶,、陡斜率和低插入損耗

• 生產(chǎn)增透膜,、復雜的非四分之一波鍍膜和超低損耗激光反射鏡

• 制造具有個位數(shù) ppm 水平的吸收和散射的鏡子

• 高能工藝提供更好的堆積密度和低針孔密度

• 低壓操作提供高薄膜純度

  
  

SOURCERER系統(tǒng)管理器具有的圖形界面，具有實時和動畫運動功能,，與市場上任何其他離子束系統(tǒng)控制包相比,，SOURCERER®系統(tǒng)管理器提供了更多的控制和靈活性。使用簡單的命令或易于導入的薄膜設計,，工藝工程師可以開發(fā)先進的自動化配方,，開始工藝運行，并在運行完成后返回,。結合 Veeco 的工藝知識和響應迅速的全球服務組織,，我們在售前和售后都設定了標準。