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三溫Chuck晶圓盤,，

晶圓盤系統(tǒng)用于半導體晶圓的表征測試,、建模、工藝開發(fā),、設計調(diào)試,，去BUG或IC故障分析，具有所有主要分析探針臺集成所需的性能和多功能性,，能夠?qū)崿F(xiàn)快速降溫和精準控溫,。

三溫Chuck晶圓盤，

對于要求快速溫度變化的分析和生產(chǎn)測試應用,，降溫和加熱時間對晶圓測試尤為重要,。溫度轉(zhuǎn)換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。

主要特點：      

· 低噪音

· 溫度范圍為-60°C至+175°C,，

· 快速冷卻/加熱速率高達25°C/min

· 不需要LN2,、CO2，減少成本

· 不需要在配置冷水機

· 溫度穩(wěn)定性±1°C

· 體積小,，便于集成

· 免維護

應用程序：

· 探針臺

· 冷熱平臺

· 低輪廓器件,，表面平坦器件的表征測試

· 功率器件的晶圓測試

· 使用高品質(zhì)的材料和制造工藝，確保系統(tǒng)的可靠性和壽命

· 針對不同的測試需求,，提供個性化的升級方案,。

聚焦超低溫，低溫,，環(huán)境模擬,，可靠性輔助測試解決方案

超過16年行業(yè)技術沉淀，掌握核心技術

多項技術,，細分領域獨角獸

持續(xù)的創(chuàng)新產(chǎn)品和服務,，為客戶提供更加滿意的體驗

速度：1小時內(nèi)響應，24小時內(nèi)提供實施方案,。

專業(yè)：多名工程師與熱流儀Temperature Cycling System相伴10多年,。

維修：原廠標準服務。

料件：原廠品牌料件,。

保障：提供交換式維修,。

信息：設備檔案更新與備份，做客戶設備的管家,。