1. 產(chǎn)品概述

VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐,適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設(shè)備,。

2. 設(shè)備用途/原理

VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐,，適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設(shè)備，高溫度 2000℃,，升溫速率可達(dá) 100℃/min,。石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈,。自動(dòng)裝片,，Cassette to Cassette。SEMI S2/S6 認(rèn)證,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 4/6 英寸兼容,，適用材料 碳化硅、氮化鋁,，適用工藝 注入后激活,、Ar 退火、Ar/H2 退火,、溝槽平滑,，適用域 科研、化合物半導(dǎo)體,。百科：退火爐的原理?主要涉及通過控制加熱和冷卻過程中的溫度和時(shí)間,，以改變半導(dǎo)體材料的性質(zhì)或結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的精確控制和優(yōu)化處理。這種設(shè)備通常被稱為RTP（Rapid Thermal Processing）快速退火爐,。RTP退火爐的關(guān)鍵特點(diǎn)包括快速升溫,、保持溫度、冷卻階段以及氣體控制,。