AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) AGF系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 10:27:53
- 訪問(wèn)次數(shù) 303
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1. 產(chǎn)品概述
AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐,,適用于 6、8 英寸,,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng),。
2. 設(shè)備用途/原理
AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐,適用于 6,、8 英寸,,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng),4 組加熱器獨(dú)立控制,,靈活的溫場(chǎng)調(diào)節(jié)機(jī)能力,。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能,,溫場(chǎng)更均勻,,下裝載,上維護(hù),,操作便捷,。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶體尺寸 6、8 英寸,,加熱方式 電阻加熱,,適用材料 碳化硅,適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法(PVT 法),,適用域 科研,、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一,,具有禁帶寬度大,、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率,、高擊穿電場(chǎng)等特性,,在智能電網(wǎng)、電力牽引,、電動(dòng)汽車,、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì),。