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AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 北方華創(chuàng)
  • 型號(hào) AGF系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/9/5 10:27:53
  • 訪問(wèn)次數(shù) 303

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù),、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù),。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),,軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,,光刻機(jī),,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐,,適用于 6、8 英寸,,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng),。

2. 設(shè)備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐適用于 6,、8 英寸,,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng)4 組加熱器獨(dú)立控制,,靈活的溫場(chǎng)調(diào)節(jié)機(jī)能力,。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能,,溫場(chǎng)更均勻,,下裝載,上維護(hù),,操作便捷,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶體尺寸 6、8 英寸,,加熱方式 電阻加熱,,適用材料 碳化硅適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法(PVT 法),,適用域 科研,、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一,,具有禁帶寬度大,、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率,、高擊穿電場(chǎng)等特性,,在智能電網(wǎng)、電力牽引,、電動(dòng)汽車,、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì),。




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