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Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù),。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,,軟件著作權(quán) 14 項,,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,,光刻機,,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng),,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

2. 設(shè)備用途/原理

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng),,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝,,高精度溫度控制,提供優(yōu)異工藝,,低成本,,高產(chǎn)能

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12 英寸,,適用工藝 快速熱退火,、快速熱氧化、金屬硅化,。適用域 科研,、集成電路。此外,,12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實驗線,、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域,,展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色,。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用,對于推動半導(dǎo)體技術(shù)的進步和促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義,。?


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