SteaPVC 東譜科技穩(wěn)態(tài)表面光電流/光電壓測量儀
- 公司名稱 東譜科技(廣州)有限責(zé)任公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SteaPVC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/6/28 10:25:19
- 訪問次數(shù) 180
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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:表面光電壓SPV、表面光電譜SPS,、相位譜,、表面光電流SPC、SPV,、SPC,、SPS,、表面檢查技術(shù),、能帶圖、界面及缺陷態(tài),、表面電勢,、擴(kuò)散長度、少子壽命,、表面空間電荷,、少數(shù)載流子壽命
▌ 產(chǎn)品簡介
SteaPVC是 Orienlal Spectra(下稱0S)針對光催化、半導(dǎo)體,、MOF(Metal-Organic Framework)等光電領(lǐng)域推出的穩(wěn)態(tài)表面光電流/光電壓測量儀,。SteaPVC 是TranPVC(瞬態(tài)光電流/光電壓/光電荷測量儀)的姐妹產(chǎn)品,,共同為行業(yè)提供了完善的穩(wěn)、瞬態(tài)光電流,、光電壓,、光電荷測量的產(chǎn)品方案。SteaPVC基于相敏檢測技術(shù)開發(fā)而成,,可以在不同的激勵光波長下對超微弱穩(wěn)態(tài)光電流,、光電壓信號進(jìn)行檢測;集成了多種測量模式,,可以便捷得到波長依賴的光電流譜,、光電壓譜、相位譜,;配備了可視化全自動進(jìn)樣系統(tǒng),,可以便捷地對樣品的位置進(jìn)行可視化的調(diào)控,具有高度的自動化,、集成化特征,,充分體現(xiàn)了東譜科技“一鍵開機(jī)、一次裝載,、全局測量,、實(shí)時(shí)交互”的產(chǎn)品理念。
表面光電壓(Surface photovoltage, SPV)是半導(dǎo)體廣泛存在的物理現(xiàn)象,。表面光電壓譜(surface photovoltage spectroscopy,,SPS)是以無接觸、無損的方式對半導(dǎo)體器件樣品進(jìn)行檢測,,從而研究半導(dǎo)體的帶隙,、表面電勢、氧化層,、少子壽命,、擴(kuò)散長度、界面及缺陷態(tài),、量子阱結(jié)構(gòu)的能帶Offset等,。SteaPVC還具有光電流譜的選配模塊,針對具有光電流效應(yīng)的樣品構(gòu)建專門檢測電流回路,,形成光電流,,從而得到光電流譜。SteaPVC采用Melal-insulalor-semiconductor(MIS)的方法對樣品進(jìn)行測試,是一種無損的測試方法,,樣品制備簡單,。 近些年,SPS的方法在硅基半導(dǎo)體,、III-V族化合物半導(dǎo)體,、鈣鈦礦,、有機(jī)半導(dǎo)體、光催化,、水解氫等行業(yè)得到了長足發(fā)展,。
SteaPVC是行業(yè)內(nèi)新款商業(yè)化、自動化的表面光電壓/光電流測量儀,,為用戶帶來了革命性的體驗(yàn),。它實(shí)現(xiàn)了高度自動化,幾乎所有操作都能自動完成,,省去了人工繁瑣的步驟,,讓使用者無需專業(yè)背景也能輕松上手。其次,,它的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度高,,能夠?yàn)橛脩籼峁?zhǔn)確、可靠的分析結(jié)果,,極大提高了工作效率,。而且,這款儀器還非常便捷易用,,用戶經(jīng)過半天的培訓(xùn),,都能迅速設(shè)置并開始工作。它的界面設(shè)計(jì)直觀明了,,即使是初學(xué)者也能快速掌握操作方法,。這款儀器設(shè)備不僅解放了用戶的專業(yè)束縛,還將以其高效,、精準(zhǔn)的特點(diǎn)贏得廣大用戶的喜愛,,助力用戶輕松應(yīng)對各種復(fù)雜的SPS測試任務(wù)。
SPS是一種界面檢測技術(shù),。一般來說,,表面被定義為具有不同物理性質(zhì)的介質(zhì)的邊界。例如,,半導(dǎo)體和真空或氣體之間的表面被稱為“自由表面”,,或者只稱呼“表面”。半導(dǎo)體和另一種固體之間的表面通常被稱為“界面”,。然而,,我們有時(shí)用“表面”一詞來表示任何邊界,即廣義的表面就是界面,。SPS可以用來研究半導(dǎo)體表面、界面及本體相關(guān)的性質(zhì),。
表面局域態(tài)(Surface-localized state )是產(chǎn)生表面光電壓的主要成因,,形成表面局域態(tài)的物理來源有很多,,如:1)由于周期性破壞而在能隙中產(chǎn)生的局部電子態(tài);2)表面形成偶極層,;3)晶格對稱性破壞,;4)表面重組以最小化表面能;5)表面形成懸掛鍵,;6)表面吸附了雜質(zhì)層等,。這些表面局域態(tài)觸發(fā)了材料內(nèi)部與表面之間的電荷轉(zhuǎn)移,以建立兩者之間的熱平衡,,形成了非電中性的空間電荷區(qū),。這是產(chǎn)生表面光電壓的主要成因。SPS檢測時(shí),,涉及到利用精心調(diào)制的探測光與樣品發(fā)生相互作用,,然后檢測表面光電壓在光照和非光照的變化,得到表面光電壓的信號:Vspv = Vs(light)?Vs(dark),,該信號通常極其微弱,,一般的檢測裝置很難測試。
SteaPVC采用出色的光信號調(diào)制技術(shù),,顯著提高了對微弱電學(xué)信號的捕獲和識別能力,,從而可以有效地從背景噪聲中提取出有用的信號,進(jìn)而增強(qiáng)信號的信噪比,,確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,。在硬件設(shè)計(jì)上,SteaPVC充分考慮了電磁兼容(EMC)的問題,,采用了多種措施來抑制可能的電磁干擾,。這樣的設(shè)計(jì)使得設(shè)備不僅能夠抵抗外部電磁干擾,同時(shí)也減少了設(shè)備自身產(chǎn)生的電磁輻射,,保證了儀器的高靈敏度和穩(wěn)定性,。基于SteaPVS測量得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,,結(jié)合樣品的實(shí)際物理模型過程,,用戶可以研究一系列的物理特性,既包括半導(dǎo)體表面的特性,,也可以得到半導(dǎo)體材料本體的性質(zhì)參數(shù),,一些常見的相關(guān)物理參數(shù)如下:
1. 表面和界面相關(guān)的性質(zhì):
① 能帶圖
② DOS of surface states
③ Trap states/defects(gap states)
④ 表面氧化厚度
⑤ Band-offsets
⑥ 表面空間電荷區(qū)(SCR)
⑦ 表面偶極:surface dipole
⑧ Tail states
2. 同時(shí),也可以得到很多本體性質(zhì)相關(guān)的定量信息:
① 帶隙,;
② 導(dǎo)電類型,;
③ 擴(kuò)散長度;
④ 少數(shù)載流子壽命;
▌ 測量模式
□ 單點(diǎn)測量,;
□ 掃描測量,;
波長掃描;
頻率掃描,;
光源強(qiáng)度掃描,;
電場強(qiáng)度掃描(EFISPS);
溫度掃描:變溫測試,。
▌ 產(chǎn)品特點(diǎn)
□ Turn-key系統(tǒng),,具有充分的“Plug & Play”特征;
□ 測試條件設(shè)置功能豐富,;
□ 具有自動化,、高度集成化的特點(diǎn);
□ 測試過程由軟件控制,,使用便捷,,對操作人員的專業(yè)技能要求低;
□ 樣品臺帶位移功能,,方便對同一基片上的不同子器件進(jìn)行測試,,多子器件測試切換由軟件進(jìn)行,測試效率高,;
□ 集成樣品倉,,方便更換樣品和電學(xué)互聯(lián),樣品倉可視化監(jiān)測系統(tǒng),,實(shí)時(shí)觀察測試光照射器件情況,,便于調(diào)整樣品的光斑照射位置。
▌ 功能參數(shù)
□ 表面光電壓SPV,;
□ 光電流譜(SPC,,選配);
□ 電場誘導(dǎo)表面光電壓譜(EFISPS,,選配),;
□ 泵浦-探測表面光電壓譜(PPSPS,選配),;
□ 相位譜等,。
▌ 應(yīng)用場景
□ 適用硅基半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體,、第三代寬帶隙半導(dǎo)體,、Wafer測試、有機(jī)太陽能電池,、鈣鈦礦太陽能電池,、有機(jī)發(fā)光二極管、二維半導(dǎo)體、染料敏化太陽能電池,、銅銦鎵硒太陽能電池,;
□ 適用MOF(金屬有機(jī)框架),、COF(共軛有機(jī)框架),、鎘鋅碲化物(CZT)、光解水,、Mxenes,、光催化器件、其它光電轉(zhuǎn)換器件,。
▌ 技術(shù)參數(shù)
表面光電壓光譜儀/SteaPVC | |||
功能 | SPS | 標(biāo)配 | |
PIS | 可選配 | ||
EFISPS | 可選配 | ||
PPSPS | 可選配 | ||
波長范圍 | 300-2500nm | ||
最小步進(jìn)波長 | 0.01 nm | ||
波長調(diào)節(jié)方式 | 自動 | ||
光電壓量程靈敏度 | 1nV至1V | ||
電壓噪聲 | 9nV/√Hz@997Hz,; | ||
動態(tài)儲備 | 120dB | ||
頻率范圍 | 14Hz~700Hz或20Hz~1kHz | ||
SPV自動樣品臺 | 有 | ||
樣品倉可視化系統(tǒng) | 有 | ||