產(chǎn)品名稱

OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐

產(chǎn)品型號

OTF-1200X-RTP-II

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2,、電： AC220V 50Hz（20A 空氣開關(guān)）,，必須有良好接地

3 、氣： 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上） ,，需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套接

頭）

4,、工作臺：設(shè)備為落地式， 占地面積 1m2 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1,、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上,。

2 ,、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（?76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加

均勻,。

3 ,、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料,。

4 ,、真空法蘭通過兩個硅膠 O 型圈進行密封,，通過機械泵其腔內(nèi)真空度可達 10-2torr ，通過分子 泵真空度可達 10-5torr,。

5,、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。

6,、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,，可以精 確測量腔內(nèi)真空度。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： 單相 AC208V-240V （需 20A 的空氣開關(guān)）

2,、真空腔體：高純石英管， 外徑 280mm ,，內(nèi)徑 275mm ,，高 229mm

3、加熱元件： 兩組 IR 紅外燈管,， 額定功率 800W ,，總功率 1600W

4,、熱電偶： S 型熱電偶 2 個,，分別安裝于上下法蘭上

5、工作溫度：兩個加熱區(qū)域單獨工作的極限溫度≤650℃,，兩加熱區(qū)域極限溫差≤350℃

6,、加熱速率： >8℃/s

7、冷卻速率： >10℃/s（600℃-100℃）

8,、真空法蘭： 316 不銹鋼制作,， 配有 1 個 KF-25 接口、 2 個 1/4″軟管接頭

9,、真空計：數(shù)字式真空顯示計

可選配件

1 ,、PC 控溫軟件

2、兩路混氣系統(tǒng)

3,、多路浮子混氣系統(tǒng)

4,、多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

5、真空泵

6,、水冷機