MS系列高精度工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,，和影像測量儀的 X、Y,、Z 軸表面尺寸測量功能,，具備明暗場、微分干涉,、偏光等多種觀察功能,。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、PCB,、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈,、光通訊,、基礎(chǔ)電子、模具五金,、醫(yī)療器械,、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測,。

采用優(yōu)異的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),，搭配長工作距金相物鏡，配合六孔電動轉(zhuǎn)換器 ,，在滿足大視野觀測,、大工作距測量需求的同時(shí),，還提供了高倍率和高精度的保障。無論是測量大型部件還是精細(xì)元件,，或是表面高度差異大的樣品,，MS系列都能為用戶提供最佳的解決方案。

1.功能高度集成的一體式設(shè)計(jì)：

MS 既預(yù)留了臺式主機(jī)的位置,，又在使用者面前放置了可收起的鍵盤,。兩個(gè)方向上的手輪以及各類按鈕，均符合人體工程學(xué),，使用者無需站立,，便可輕松實(shí)行操作。

2.仰角可調(diào)觀察筒：

這款觀察筒傾斜角在 5°至 35°之間可調(diào),。無論是站立或坐著,，都能最大限度滿足用戶的操作需求，同時(shí)也無需擔(dān)憂用戶的身高差異,。

3.大行程載物臺：

有多種行程的載物臺可供選擇 , 分別為 200mm×100mm,、300mm×200mm、300 mm×300mm,、400 mm×300mm,。無論樣品大小，均能滿足用戶的測量需求,。若用戶有特殊需求,，也可按需求定制平臺,。

4.精密測量功能：

采用0.1um讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng),，Z 軸最大行程可至150mm，利用集成在機(jī)架上的高精度電動控制器控制 Z 軸,。三檔不同調(diào)速可供選擇,，調(diào)焦可操作性強(qiáng)，提高效率,，降低疲勞,。

5.獨(dú)立裂像光源輔助對焦：

獨(dú)立的裂像光源控制器，可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié),，清晰準(zhǔn)確顯示最佳焦面,。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換,。

6.自主研發(fā)測量軟件：

MS 配備了操作簡單,，功能強(qiáng)大的測量軟件，客戶可根據(jù)需要設(shè)置測試偏好,。配合電動轉(zhuǎn)換器,，倍率自動識別，減少客戶手動倍率選擇錯(cuò)誤。即使對復(fù)雜的形狀,，也可以進(jìn)行高精度的測量,。

7.MS系列高精度工具測量顯微鏡應(yīng)用實(shí)例：