半自動酸洗清洗系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳正陽工業(yè)清洗設(shè)備有限公司
- 品牌 正陽
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/10/28 14:38:47
- 訪問次數(shù) 79
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濕法清洗技術(shù)，又可以分為化學(xué)方法和物理方法兩個方向,。
化學(xué)方法主要通過將硅片浸入不同的化學(xué)藥劑從而達(dá)到清洗的目的,，根據(jù)藥劑的不同又有RCA清洗、改進(jìn)RCA清洗,、臭氧清洗,、IMEC清洗等多條分支。
RCA清洗法是用于晶圓清洗的一種清洗工藝方法,，也是目前工業(yè)界廣泛采用的清洗工藝方法,。
清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有機(jī)沾污，因為有機(jī)物會遮蓋部分硅片表面,，從而使氧化膜和與之相關(guān)的沾污難以去除,；然后溶解氧化膜，因為氧化層是“沾污陷阱”,，也會引入外延缺陷,；最后再去除顆粒、金屬等沾污,，同時使硅片表面鈍化,。
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