中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學干涉原理,，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量,。是一種接觸式表面形貌測量儀器。

NS系列臺階儀廣泛應用于：大學,、研究實驗室和研究所,、半導體和化合物半導體、高亮度LED,、太陽能,、MEMS微機電、觸摸屏,、汽車,、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。如在太陽能光伏行業(yè)中,，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,，具有測量精度高、測量速度快,、適用范圍廣等優(yōu)點,。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬,、陶瓷,、塑料等,。

產品特性

1.出色的重復性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率,，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征,。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調

測力恒定可調，以適應硬質或軟質材料表面,。超低慣量設計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌,，杜絕運動中的細微抖動,，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌,。

4.頂視光學導航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺,， Z軸自動升降,、360°全自動θ轉臺

6.強大的數(shù)據采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持,。

NS系列接觸式臺階儀對測量工件的表面反光特性,、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,，樣品適應面廣,，數(shù)據復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定,、便捷,、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段,。

典型應用

部分技術參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。