探針式輪廓儀（臺階儀）KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 傳感器,、恒力控制和超平掃描樣品臺結(jié)合,，實(shí)現(xiàn)了好的測量穩(wěn)定性。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺控制,、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式,。支持2D或3D測量,，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測量表面形貌,。通過圖形識別,、序列和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。

探針式輪廓儀（臺階儀）技術(shù)特點(diǎn)

高精度2D/3D 表面形貌掃描

超大范圍的單次掃描量程,，無需圖像拼接

納米至1000微米臺階高度測量

粗糙度和波紋度測量

樣品翹曲和曲率半徑測量

2D/3D薄膜應(yīng)力測量

表面缺陷檢測

探針掃描

掃描載臺具有單程150 mm的精確掃描范圍以及大1 mm的掃描高度范圍,，從而保證高質(zhì)量的2D和3D掃描數(shù)據(jù)。

3D成像

通過3D掃描可以得到表面的三維成像,，呈現(xiàn)出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像,。可以從中提取截面/線中的三維或二維數(shù)據(jù),。

應(yīng)力分析

能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力,。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲,，然后通過應(yīng)用Stoney方程來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)150mm的樣品上通過單次掃描測量,，無需圖像拼接,。3D應(yīng)力的測量采用多個(gè)2D掃描，并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個(gè)樣品表面進(jìn)行測量,。

Apex軟件

Apex分析軟件通過提供調(diào)平,、濾鏡、臺階高度,、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件,，增強(qiáng)了P-7的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及如ASME之類的本地標(biāo)準(zhǔn),。 Apex還可用作報(bào)告編寫平臺,，具有添加文本、注釋和是/否合格的準(zhǔn)則,。 Apex提供八種語言的版本,。