臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量,。中圖儀器NS系列臺(tái)階儀接觸式表面形貌測量儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所,、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體,、高亮度LED、太陽能,、MEMS微機(jī)電,、觸摸屏、汽車,、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra,、RMS、Rv,、Rp,、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式,；

2）導(dǎo)航圖智能測量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測量模式,。

3）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī),，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量,。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺(tái),、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸，可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高測量精度及效率,。

NS系列臺(tái)階儀接觸式表面形貌測量儀對測量工件的表面反光特性,、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,，樣品適應(yīng)面廣,，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定,、便捷,、高效,，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

產(chǎn)品特性

1.高重復(fù)性和再現(xiàn)性,，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級(jí)分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度,，真實(shí)反映工件微小形貌,。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機(jī)

5.全自動(dòng)XY載物臺(tái),， Z軸自動(dòng)升降,、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)

6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持,。

典型應(yīng)用