標(biāo)準(zhǔn)檢測器

• ETD、低真空 SED (LVD),、 ESEM SED (GSED),、紅外CCD

可選檢測器

• Thermo Scientific Nav-Cam+ 攝像機(jī),、DBS、DBS-GAD,、ESEM-GAD,、STEM 3+、WetSTEM,、RGB-CLD,、EDS、EBSD,、WDS,、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技術(shù)（可選）

• 可基于能量色散 X 射線光譜 (EDS) 進(jìn)行實(shí)時(shí)定量 元素面分布,。包含點(diǎn)分析,、線掃描、面分布及元素定量,。

樣品臺(tái)減速（可選）

• -4,000 V 至 +50 V

低真空模式

• 高達(dá) 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)

樣品臺(tái)

• 5軸馬達(dá)優(yōu)中心樣品臺(tái),，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍,。最大樣品重量：未傾斜位置,，5 kg。

標(biāo)準(zhǔn)樣品支架

• 標(biāo)準(zhǔn)多樣品 SEM 支架可單獨(dú)安裝

• 在載物臺(tái)上,，可容納多達(dá) 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托 (? 12 mm),，

• 無需工具即可安裝樣品

樣品倉

• 340 mm 內(nèi)寬，12 個(gè)接口,，最多可接三個(gè) EDS 檢測器（兩個(gè)呈 180°對稱）,，并具有與共面 EDS共面的EBSD接口。

原位配件（可選）

• 軟件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷臺(tái)

• 軟件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 熱臺(tái)

• 軟件控制的 1,100°C 高真空熱臺(tái)

• 軟件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 熱臺(tái)

• 集成氣體注入系統(tǒng)：用于下列材料的電子束誘導(dǎo)沉積,，最多支持2種氣體（其他配件可能限制可用的注氣系統(tǒng) (GIS) 數(shù)量）：

• 鉑

• 鎢

• 碳

• 納米機(jī)械手

• 液氮致冷臺(tái)

• 電子探針/多探針臺(tái)

軟件選項(xiàng)

• Thermo Scientific Maps 軟件可進(jìn)行大面積圖像自動(dòng)采集和拼接,，并可與其它設(shè)備聯(lián)用

• Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面

• 圖形發(fā)生軟件

• TopoMaps 軟件用于圖像著色及分析和 3D 表面重建